[实用新型]一种烘干风量自动控制系统

说明书

本实用新型涉及烘干系统领域，且公开了一种烘干风量自动控制系统，包括固定板，所述固定板的顶部右侧安装有烘干箱，所述烘干箱底壁的左右两侧均滑动连接有限位板，所述限位板的底部固定连接有竖直弹簧，所述竖直弹簧的顶部与烘干箱的底壁固定连接，两个所述限位板的顶部固定连接有同一个位于烘干箱内部的烘干台。该烘干风量自动控制系统，控制器可以控制干燥风机的开启或关闭，也能调节干燥风机的输出功率，当监视探头监测到烘干台上的花篮长时间未移动，或者烘干台上未放置工件时，控制器可以控制干燥风机关闭，能够大大的降低该装置使用时的耗能，且能够根据使用需要调节干燥风机的的输出功率，降低耗能，使用起来更加节能环保。

技术领域

本实用新型涉及烘干系统领域，具体为一种烘干风量自动控制系统。

背景技术

半导体器件生产中硅片须经严格清洗。微量污染也会导致器件失效。清洗的目的在于清除表面污染杂质，包括有机物和无机物。这些杂质有的以原子状态或离子状态，有的以薄膜形式或颗粒形式存在于硅片表面。有机污染包括光刻胶、有机溶剂残留物、合成蜡和人接触器件、工具、器皿带来的油脂或纤维。无机污染包括重金属金、铜、铁、铬等，严重影响少数载流子寿命和表面电导；碱金属如钠等，引起严重漏电；颗粒污染包括硅渣、尘埃、细菌、微生物、有机胶体纤维等，会导致各种缺陷。

在硅片清洗之后，需要对硅片进行烘干，而现有的烘干装置在使用时，烘干机只能持续开启，在长时间的使用过程中，耗能较大。为此，我们设计了一种烘干风量自动控制系统。

实用新型内容

针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种烘干风量自动控制系统，解决了现有的烘干装置在使用时，烘干机只能持续开启，在长时间的使用过程中，耗能较大的问题。

为了达到上述目的，本实用新型所采用的技术方案是：

一种烘干风量自动控制系统，包括固定板，所述固定板的顶部右侧安装有烘干箱，所述烘干箱底壁的左右两侧均滑动连接有限位板，所述限位板的底部固定连接有竖直弹簧，所述竖直弹簧的顶部与烘干箱的底壁固定连接，两个所述限位板的顶部固定连接有同一个位于烘干箱内部的烘干台。

所述烘干箱的内底壁安装有控制开关，所述烘干台的底部安装有与控制开关对应的推动杆，所述固定板顶部的左侧安装有减震杆，所述减震杆的顶部安装有干燥风机。

所述固定板的顶部安装有位于烘干箱下方的控制器，所述烘干箱的左侧壁安装有与干燥风机的出气端连通的加热箱，所述烘干箱的右侧内壁顶部安装有监视探头。

进一步的，所述控制器包括PLC和定时开关，且监视探头的输出端与PLC的输入端电连接，所述PLC的输出端和定时开关的输入端电连接。

进一步的，所述加热箱的内部安装有加热丝，所述加热丝的输入端与定时开关的输出端电连接，且干燥风机的出气端安装有软管，所述软管的右端与加热箱的左侧壁固定连接且与加热箱的内部连通。

进一步的，所述干燥风机的输入端与定时开关的输出端电连接，且控制开关的输出端与控制器的输入端电连接。

进一步的，所述减震杆包括安装在固定板顶部左侧的安装管，所述安装管的内底壁安装有减震弹簧，所述安装管的内部滑动连接有与减震弹簧的顶部固定连接的升降架，所述升降架的顶部与干燥风机的底部固定连接。

进一步的，所述烘干台的顶部开设有放置槽，且放置槽的底部开设有通孔。

本实用新型的有益效果为：

1、该实用新型，干燥风机启动后可以将外界的空气通入到烘干箱内，通入到加热箱内的空气在加热后会进入到烘干箱内，升温后的空气能够大大加快烘干台上的花篮或硅片的烘干效率。