[实用新型]一种硅片制造用制绒烘干装置

权利要求书

1.一种硅片制造用制绒烘干装置，包括烘干箱(1)，其特征在于，所述烘干箱(1)底端的中部安装有风机(20)，所述烘干箱(1)内底壁的中部安装有加热架(2)，所述风机(20)的输出端向上活动穿插在加热架(2)的内部，所述加热架(2)顶端的两侧均安装有固定块(3)，所述固定块(3)的顶端安装有匀流架(4)，所述加热架(2)顶端的中部连通有导气管(17)，所述导气管(17)的顶端与匀流架(4)相连通，所述烘干箱(1)前后两内壁且位于匀流架(4)的内部共同安装有红外加热管(15)，所述烘干箱(1)顶端的中部开设有活动孔(6)，所述烘干箱(1)的顶端安装有支撑架(8)，所述支撑架(8)的顶端安装有齿轮架(9)，所述齿轮架(9)顶端的中部安装有驱动电机(11)，所述驱动电机(11)输出轴的底端穿过齿轮架(9)安装有第一齿轮(10)，所述支撑架(8)顶端的两侧均竖向活动安装有螺纹杆(7)，所述螺纹杆(7)的顶端穿插在齿轮架(9)的内部并安装有第二齿轮(12)，所述第二齿轮(12)与第一齿轮(10)相啮合，所述螺纹杆(7)的底端穿插在烘干箱(1)的内部并套装有连接机构，两个连接机构相对的一侧共同安装有硅片花篮(16)。

2.根据权利要求1所述的一种硅片制造用制绒烘干装置，其特征在于，所述连接机构包括套装在螺纹杆(7)外侧的螺纹套(24)，所述螺纹套(24)的一侧安装有活动架(23)，所述硅片花篮(16)两侧的中部均安装有活动块(22)，所述活动块(22)活动穿插在活动架(23)的内部。

3.根据权利要求1所述的一种硅片制造用制绒烘干装置，其特征在于，所述加热架(2)左右两内壁的中部均安装有固定座(18)，两个固定座(18)的内部共同安装有电热环(19)。

4.根据权利要求1所述的一种硅片制造用制绒烘干装置，其特征在于，所述匀流架(4)的内部开设有导流槽(5)，所述匀流架(4)的内侧开设有均匀分布的导流孔(14)，所述导流孔(14)与导流槽(5)相连通。

5.根据权利要求1所述的一种硅片制造用制绒烘干装置，其特征在于，所述螺纹杆(7)的外侧共同套装有封闭板(13)，所述封闭板(13)活动穿插在活动孔(6)的内部。

6.根据权利要求1所述的一种硅片制造用制绒烘干装置，其特征在于，所述烘干箱(1)底端的四角均安装有支撑柱(21)。