[实用新型]一种靶材平面工件的喷涂设备

说明书

本实用新型公开了一种靶材平面工件的喷涂设备，涉及靶材喷涂装置技术领域。包括靶材机架、喷涂机架及控制器，控制器固定连接在靶材机架侧端，喷涂机架与靶材机架之间相互平行并与控制器之间电性连接，喷涂机架与靶材机架位于同一水平线，通过采用控制器，在进行喷涂时，通过在控制器内输入数据从而定义第一靶材卡盘与第二靶材转盘的移动速度和旋转速度，接着，在通过控制器电性连接喷涂机架从而控制喷枪的喷涂量，从而使靶材喷涂均匀，提高靶材的喷涂质量。

技术领域

本实用新型涉及靶材喷涂技术领域，具体为一种靶材平面工件的喷涂设备。

背景技术

靶材是通过磁控溅射、多弧离子镀或其他类型的镀膜系统在适当工艺条件下溅射在基板上形成各种功能薄膜的溅射源。简单说，靶材是高速荷能粒子轰击的目标材料，用于高能激光武器中，不同功率密度、不同输出波形、不同波长激光与不同靶材相互作用时，会产生不同杀伤破坏效应。

现有的靶材喷涂设备，一般都是喷枪固定在转台上，将喷涂的工件放置在转台内旋转，从而实现喷涂效果，但是，这个方法对于喷涂的位置有时出现定位不准问题，未能在需要喷涂的位置准确喷涂，导致非有效喷涂，成品合格率大大降低，且喷枪在喷涂粉料的用量不精确，喷涂量时大时小，导致加工的工件往往出现喷涂不均匀，因此，需要一种可以精准定位喷涂的靶材喷涂设备。

实用新型内容

针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种靶材平面工件的喷涂设备。

为实现以上目的，本实用新型通过以下技术方案予以实现：所述控制器固定连接在靶材机架侧端，所述喷涂机架与靶材机架之间相互平行并与控制器之间电性连接，所述靶材机架下端固定连接有支撑底座，所述喷涂机架下端固定连接有移动底座，所述移动底座下端四周固定连接有滑轮，所述喷涂机架与靶材机架位于同一水平线，所述喷涂机架侧端设有第一伺服电机，且第一伺服电机通过螺栓螺纹连接在喷涂机架侧端，所述喷涂机架上端固定连接有两个第二轴承座，且两个第二轴承座位于喷涂机架上端两侧并相互对称设置，所述喷涂机架表面设有第一丝杠，且第一丝杠一端固定连接在一个第二轴承座上，另一端贯穿另一第二轴承座并与第一伺服电机传动连接。

在一种可行的方案中，所述靶材机架包括有工作台，所述工作台侧端固定连接有第二伺服电机，所述工作台上端靠近控制器一方设有支撑板，且支撑板与工作台上端固定连接，所述工作台上端中间位置固定连接有第一轴承座，所述第一轴承座靠近第二伺服电机一端固定连接有第二丝杠，所述第二丝杠另一端与第二伺服电机传动连接。

在一种可行的方案中，所述工作台两端内壁固定连接有导轨，所述第二丝杠贯穿连接有移动滑板，且移动滑板下端相抵于两侧导轨，所述移动滑板上端中间位置设有第一靶材卡盘，且第一靶材卡盘与移动滑板上端固定连接。

在一种可行的方案中，所述支撑板上端固定连接有第三轴承座，所述第三轴承座贯穿安装有转杆，所述转杆靠近控制器一端传动连接有驱动电机，所述驱动电机下端与支撑板上端固定连接，所述转杆另一端固定连接有第二靶材卡盘。

在一种可行的方案中，所述第一丝杠贯穿连接有安装板，所述安装板上端设有喷枪，且喷枪与安装板上端固定连接，所述喷枪靠近靶材机架一端固定连接有喷嘴。

在一种可行的方案中，所述第一丝杠、第二丝杠均为直线运动，所述第一靶材卡盘、第二靶材卡盘及喷枪位于同一水平线。

本实用新型提供了一种靶材平面工件的喷涂设备。具备以下有益效果：

(1)、本方案中，通过采用第一丝杠与第二丝杠，实现喷涂定位的效果，通过将第一丝杠与第二丝杠设置为直线运动，在进行喷涂时，通过将靶材固定安装在第一靶材卡盘上，喷枪与第一靶材卡盘为同一水平线，喷涂时，通过第一丝杠与第二丝杠的直线运动使喷枪与固定第一靶材卡盘的移动滑板进行直线运动，从而确保了喷枪在喷涂时能够精准定位，加强喷涂质量。