[实用新型]一种真空镀膜机工件转架运动机构

权利要求书

1.一种真空镀膜机工件转架运动机构，其特征是，包括可转动的转座(1)，所述转座(1)上活动设置有若干可转动的挂杆(2)，若干所述挂杆(2)上均等间距设置有若干固定部，以放置镀件，所述挂杆(2)与转座(1)的转速相同或不同、转向相同或不同，以使镀件充分接触靶材。

2.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机工件转架运动机构，其特征是，所述转座(1)上等间距设置有四个支撑杆(11)，顶板(12)可拆卸安装在所述支撑杆(11)顶部。

3.根据权利要求2所述的一种真空镀膜机工件转架运动机构，其特征是，所述转座(1)的底部设置有第一齿盘(13)。

4.根据权利要求3所述的一种真空镀膜机工件转架运动机构，其特征是，所述转座(1)的顶面内凹，并设置有第二齿盘(3)，所述挂杆(2)的一端设置有从动齿轮(21)，所述从动齿轮(21)啮合所述第二齿盘(3)。

5.根据权利要求4所述的一种真空镀膜机工件转架运动机构，其特征是，所述第二齿盘(3)的底部设置有伞齿轮(31)，所述转座(1)内还设置有伺服电机(4)，所述伺服电机(4)啮合所述伞齿轮(31)。

6.根据权利要求5所述的一种真空镀膜机工件转架运动机构，其特征是，所述固定部为挂钩(22)或放置框(23)。

7.根据权利要求6所述的一种真空镀膜机工件转架运动机构，其特征是，所述挂钩(22)为“L”型，所述放置框(23)的四周和底部均透空，以充分接触靶材。