[实用新型]一种氮化镓生产尾气处理用快接管线

说明书

本实用新型涉及一种氮化镓生产尾气处理用快接管线，属于氮化镓生产技术领域。快接管线包括过滤器和真空泵，过滤器的进气端通过硬质管线连接氮化镓生长炉的出气管，真空泵的进气端连接有第一三通管，第一三通管的进气端通过第一波纹管与所述过滤器的出气端连接，第一三通管连接真空泵，并设置有第一电动开关阀，第一三通管连接第二波纹管并设有第二电动开关阀，第二波纹管的另一端通过第二三通管连接尾气回收装置，真空泵的出气端通过第三电动开关阀连接第二三通管，各管口对接处分别通过快接件进行紧固连接。通过设置真空泵、两段三通管及三个电动开关阀使快接管线既构成尾气排出管线，同时又具备对生长炉的抽真空功能，实用方便。

技术领域

本实用新型涉及氮化镓生产技术领域，具体涉及一种氮化镓生产尾气处理用快接管线。

背景技术

以氮化镓为代表的第三代半导体材料，由于具有宽的禁带，可以发射波长比红外更短的蓝光。同时，氮化镓还具有高电子迁移率、高击穿电压、化学性质稳定、耐高温、耐腐蚀等特点，非常适合制作抗辐射、高频、大功率和高密度集成的电子器件以及蓝、绿光和紫外光电子器件。因此，氮化镓在半导体发光二极管、激光二极管、紫外探测器以及高能高频电子器件等方面有广阔的应用前景。

氮化镓生长条件较为严格，使用金属镓、氨气、氮气等气体在高温环境下进行生产，为避免杂质气体进入，生长前需对生长炉抽真空并对生产过程产生的尾气进行收集处理，现有技术中多将尾气处理及抽真空系统分开设置，使用不方便而且管线设置复杂。

发明内容

为解决现有技术中存在的问题，本实用新型专利设计了一种实用方便的氮化镓生产尾气处理用快接管线，所述快接管线包括过滤器和真空泵，过滤器的进气端通过硬质管线连接氮化镓生长炉的出气管，其特征在于，所述真空泵的进气端连接有第一三通管，所述第一三通管的进气端通过第一波纹管与所述过滤器的出气端连接，所述第一三通管的第一出气口连接真空泵的进气端，并设置有第一电动开关阀，所述第一三通管的第二出气口连接第二波纹管的一端，并设有第二电动开关阀，所述第二波纹管的另一端通过第二三通管连接尾气回收装置，所述真空泵的出气端通过第三电动开关阀连接第二三通管，所述过滤器、第一三通管、第一波纹管、第二三通管、第一电动开关阀、第二电动开关阀、第三电动开关阀及第二波纹管的管口对接处分别通过快接件进行紧固连接。快接件便于管线的快速组装、拆卸，便于管线维护，通过控制3个电动开关阀的启闭，实现抽真空和尾气排出的灵活切换，方便实用。

进一步的，所述快接件包括两段半圆弧形板，两段半圆弧形板的一端铰接，另一端分别设有对应的紧固孔，并穿有紧固螺栓，其中一个半圆弧形板的紧固孔设有内螺纹，所述紧固螺栓与之螺纹连接，所述半圆弧形板的内侧面为V型凹槽。通过紧固螺栓使两半圆弧形板相互靠近，通过各自内部的V型凹槽使管口的对接面夹紧。

进一步的，两段半圆弧形板的铰接端分别开有铰接孔，两段半圆弧形板的铰接孔之间通过铰接板连接，铰接板的两端分别通过销轴与两铰接孔连接。

进一步的，所述过滤器整体呈圆筒型，其上设有顶盖，所述顶盖的中央焊接有进气管，侧壁的下部焊接有出气管，其内部设有多层隔离网和筛网。

进一步的，所述过滤器的底部设有一圈圆盘，所述圆盘上均布有三个支撑腿，所述支撑腿通过螺纹杆连接在过滤器底部的圆盘的内螺纹孔中。

进一步的，所述第一三通管、第一波纹管、第二三通管、第一电动开关阀、第二电动开关阀、第三电动开关阀及第二波纹管的管口对接面分别设有O型密封圈。

相对于现有技术，本实用新型专利设计的氮化镓生产尾气处理用快接管线的进步之处在于，快接管线的各管件单元之间通过快接件连接，可快速组装拆卸，使用维护方便；通过对三个电动开关阀的控制，可使快接管线在自然排气和真空泵抽真空之间适时切换，获得不同的管线功能；快接件由两段内侧面带V型凹槽的半圆弧形板构成，并可通过紧固螺栓进行紧固，操作方便，紧固可靠。

附图说明