[实用新型]一种小型化MEMS电容式复合同振型矢量水听器

权利要求书

1.一种小型化MEMS电容式复合同振型矢量水听器，包括水听器主体和悬架，其水听器主体包括压电陶瓷环（16）和压电陶瓷环外表面覆盖灌装的透声密封壳体；压电陶瓷环通过线缆与外部连接；其特征在于，所述水听器主体还包括固定芯子（11）和至少两个MEMS电容式加速度计（12）；所述压电陶瓷环的顶部和底部均覆盖有泡沫盖板，所述固定芯子位于压电陶瓷环内部，所述MEMS电容式加速度计均竖直设于固定芯子的侧壁上，且相邻的MEMS电容式加速度计相互垂直并且两者中心位于同一高度；MEMS电容式加速度计通过穿透泡沫盖板和透声密封壳体的线缆与外部连接。

2.根据权利要求1所述的一种小型化MEMS电容式复合同振型矢量水听器，其特征在于，所述水听器主体还包括垂直悬挂杆（15），垂直悬挂杆穿过透声密封壳体、泡沫盖板和固定芯子，且垂直悬挂杆的两端均露出于透声密封壳体外；所述垂直悬挂杆的端部均设有通孔，且两端的通孔（32）成正交关系。

3.根据权利要求1所述的一种小型化MEMS电容式复合同振型矢量水听器，其特征在于，所述固定芯子为圆柱体，垂直悬挂杆穿过圆柱体的中心线；MEMS电容式加速度计嵌在圆柱体的侧壁上。

4.根据权利要求3所述的一种小型化MEMS电容式复合同振型矢量水听器，其特征在于，所述压电陶瓷环的中心线和固定芯子的中心线重合。

5.根据权利要求1所述的一种小型化MEMS电容式复合同振型矢量水听器，其特征在于，所述MEMS电容式加速度计为四个，间隔设置的MEMS电容式加速度计呈镜像对称。

6.根据权利要求2所述的一种小型化MEMS电容式复合同振型矢量水听器，其特征在于，所述悬架包括两个圆锥螺旋弹簧；两个圆锥螺旋弹簧的锥头分别与垂直悬挂杆的上、下通孔连接。

7.根据权利要求1所述的一种小型化MEMS电容式复合同振型矢量水听器，其特征在于，所述透声密封壳体的材料为聚氨酯或丁基橡胶。

8.根据权利要求6所述的一种小型化MEMS电容式复合同振型矢量水听器，其特征在于，所述水听器主体处于悬架的几何中心位置。

9.根据权利要求6所述的一种小型化MEMS电容式复合同振型矢量水听器，其特征在于，包括悬架在内的主体的重心与其几何中心重合。

10.根据权利要求6所述的一种小型化MEMS电容式复合同振型矢量水听器，其特征在于，所述垂直悬挂杆和圆锥螺旋弹簧的材料为不锈钢、钛合金或尼龙材料。