[实用新型]一种抛光设备抛光液循环的防溅装置

权利要求书

1.一种抛光设备抛光液循环的防溅装置，其特征在于，包括：固定轴套(1)、挡水圈(2)、下水槽(3)和扫光盘垫板(4)，所述下水槽(3)套设在所述固定轴套(1)上，并与所述扫光盘垫板(4)连接，所述挡水圈(2)设置在所述下水槽(3)上。

2.根据权利要求1所述的抛光设备抛光液循环的防溅装置，其特征在于，还包括旋转轴(11)，所述固定轴套(1)套设在所述旋转轴(11)上，所述旋转轴(11)一端用于和抛光装置连接，另一端与所述扫光盘垫板(4)连接。

3.根据权利要求1所述的抛光设备抛光液循环的防溅装置，其特征在于，所述下水槽(3)上设有若干分流孔(5)，所述扫光盘垫板(4)上设有若干导流孔(6)，所述分流孔(5)与所述导流孔(6)相对应。

4.根据权利要求1所述的抛光设备抛光液循环的防溅装置，其特征在于，所述挡水圈(2)采用柔性材料制成，所述挡水圈(2)上设有若干下液孔(7)与若干第一固定孔(8)。

5.根据权利要求4所述的抛光设备抛光液循环的防溅装置，其特征在于，还包括与所述下液孔(7)数量相同的导流管，所述导流管一端用于和抛光液循环泵连接，另一端与所述下液孔(7)连接。

6.根据权利要求5所述的抛光设备抛光液循环的防溅装置，其特征在于，还包括导流架(9)，所述导流架(9)设置在所述固定轴套(1)上，所述导流管与所述导流架(9)连接，所述第一固定孔(8)通过弹性材料与所述导流架(9)连接。

7.根据权利要求2所述的抛光设备抛光液循环的防溅装置，其特征在于，所述扫光盘垫板(4)上设有第二固定孔(10)，所述旋转轴(11)通过所述第二固定孔(10)与所述扫光盘垫板(4)固定连接。