[实用新型]一种去除电解生产三氟化氮尾气的氟化氢装置有效
申请号: | 202021420762.4 | 申请日: | 2020-07-17 |
公开(公告)号: | CN213286325U | 公开(公告)日: | 2021-05-28 |
发明(设计)人: | 刘其俊;萧安泰 | 申请(专利权)人: | 亚氨精敏气体企业有限公司 |
主分类号: | B01D53/78 | 分类号: | B01D53/78;B01D53/68 |
代理公司: | 北京科龙寰宇知识产权代理有限责任公司 11139 | 代理人: | 李林 |
地址: | 新加坡巴*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 去除 电解 生产 氟化 尾气 氟化氢 装置 | ||
1.一种去除电解生产三氟化氮尾气的氟化氢装置,其特征在于,包括:
一超重力机,能够进行湿式离心洗涤,前述超重力机内部包含有转子构成的一旋转填充床,前述旋转填充床能够以500至2000rpm高速旋转,以产生200至500G超高离心力场环境;前述超重力机内部设有复数定子圆管,该复数定子圆管由上而下穿插于前述旋转填充床间;前述定子圆管成圈状放置于相邻两圈的前述转子间,每圈数目为5至15个;前述转子的圈数为3至5圈。
2.根据权利要求1所述的去除电解生产三氟化氮尾气的氟化氢装置,其特征在于:前述超重力机上方设有一气体排出管,该气体排出管贯通至前述旋转填充床,前述气体排出管连接外部的一烟囱,以使氟化氢3ppm的气体能够由前述烟囱排出。
3.根据权利要求1所述的去除电解生产三氟化氮尾气的氟化氢装置,其特征在于:前述超重力机下方设有数洗涤液出口,能够将清洗后的洗涤液排出前述超重力机。
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