[实用新型]一种去除电解生产三氟化氮尾气的氟化氢装置有效

专利信息
申请号: 202021420762.4 申请日: 2020-07-17
公开(公告)号: CN213286325U 公开(公告)日: 2021-05-28
发明(设计)人: 刘其俊;萧安泰 申请(专利权)人: 亚氨精敏气体企业有限公司
主分类号: B01D53/78 分类号: B01D53/78;B01D53/68
代理公司: 北京科龙寰宇知识产权代理有限责任公司 11139 代理人: 李林
地址: 新加坡巴*** 国省代码: 暂无信息
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摘要:
搜索关键词: 一种 去除 电解 生产 氟化 尾气 氟化氢 装置
【权利要求书】:

1.一种去除电解生产三氟化氮尾气的氟化氢装置,其特征在于,包括:

一超重力机,能够进行湿式离心洗涤,前述超重力机内部包含有转子构成的一旋转填充床,前述旋转填充床能够以500至2000rpm高速旋转,以产生200至500G超高离心力场环境;前述超重力机内部设有复数定子圆管,该复数定子圆管由上而下穿插于前述旋转填充床间;前述定子圆管成圈状放置于相邻两圈的前述转子间,每圈数目为5至15个;前述转子的圈数为3至5圈。

2.根据权利要求1所述的去除电解生产三氟化氮尾气的氟化氢装置,其特征在于:前述超重力机上方设有一气体排出管,该气体排出管贯通至前述旋转填充床,前述气体排出管连接外部的一烟囱,以使氟化氢3ppm的气体能够由前述烟囱排出。

3.根据权利要求1所述的去除电解生产三氟化氮尾气的氟化氢装置,其特征在于:前述超重力机下方设有数洗涤液出口,能够将清洗后的洗涤液排出前述超重力机。

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