[实用新型]一种改进板式镀膜载板边缘固定方式的垫板有效

专利信息
申请号: 202021421229.X 申请日: 2020-07-20
公开(公告)号: CN212955341U 公开(公告)日: 2021-04-13
发明(设计)人: 周桂宏 申请(专利权)人: 南京仁厚新材料科技有限公司
主分类号: C23C16/458 分类号: C23C16/458;H01L31/18
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 210000 江苏省南京*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 改进 板式 镀膜 边缘 固定 方式 垫板
【权利要求书】:

1.一种改进板式镀膜载板边缘固定方式的垫板,包括载板(1),所述载板(1)底部两侧均设置有滑轨(5),其特征在于:所述载板(1)两端顶部表面均设置有垫板(3),所述垫板(3)表面开设有沉头孔(7),所述沉头孔(7)内部贯穿有螺钉(2),所述螺钉(2)一端贯穿于滑轨(5)内部,且螺钉(2)一端固定有滑块(6)。

2.根据权利要求1所述的一种改进板式镀膜载板边缘固定方式的垫板,其特征在于:所述螺钉(2)另一端面开设有安装槽(9),所述安装槽(9)内部顶面固定有第一魔术贴(8),所述安装槽(9)内部设置有橡胶环(10),所述橡胶环(10)表面固定有第二魔术贴(11),所述第二魔术贴(11)与第一魔术贴(8)通过粘连固定,所述橡胶环(10)另一端固定在沉头孔(7)表面。

3.根据权利要求2所述的一种改进板式镀膜载板边缘固定方式的垫板,其特征在于:所述橡胶环(10)的横截面为圆形结构,所述垫板(3)的横截面为三角形结构。

4.根据权利要求3所述的一种改进板式镀膜载板边缘固定方式的垫板,其特征在于:所述垫板(3)为不锈钢材质构件,所述垫板(3)的纵截面为矩形结构。

5.根据权利要求1所述的一种改进板式镀膜载板边缘固定方式的垫板,其特征在于:所述载板(1)表面开设有载料孔(4),所述载料孔(4)端口处开设有沉槽。

6.根据权利要求5所述的一种改进板式镀膜载板边缘固定方式的垫板,其特征在于:所述载料孔(4)的纵截面为矩形结构,所述载板(1)为碳纤维材质构件。

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