[实用新型]一种晶圆片架

权利要求书

1.一种晶圆片架，其特征在于，包括：

架体(10)，所述架体(10)中设有收容晶圆的收容腔(15)；所述架体(10)的一端设有与所述收容腔(15)连通供所述晶圆放入所述收容腔(15)中的第一开口(151)；所述架体(10)的侧壁上设有延伸部；所述延伸部设置于所述第一开口(151)处且朝外侧延伸；

标识结构(20)，可拆卸设置于所述延伸部上以区分所述晶圆片架。

2.根据权利要求1所述的晶圆片架，其特征在于，所述延伸部上设有供所述标识结构(20)插设的插接孔(1112)或者插槽。

3.根据权利要求2所述的晶圆片架，其特征在于，所述延伸部上设有沉台(1111)，所述插接孔(1112)和/或插槽安装于所述沉台(1111)上。

4.根据权利要求2所述的晶圆片架，其特征在于，所述标识结构(20)为带颜色的销钉；

所述销钉可插设于所述插接孔(1112)或者插槽中。

5.根据权利要求1所述的晶圆片架，其特征在于，所述架体(10)包括第一侧壁(11)以及与所述第一侧壁(11)相对且间隔设置的第二侧壁(12)；

所述延伸部包括设置于所述第一侧壁(11)上的第一延伸部(111)、以及设置于所述第二侧壁(12)上的第二延伸部(121)；

所述标识结构(20)设置于所述第一延伸部(111)和/或所述第二延伸部(121)上。

6.根据权利要求5所述的晶圆片架，其特征在于，所述第一侧壁(11)内侧设有多个第一限位槽(112)；多个所述第一限位槽(112)并排且间隔设置；

所述第二侧壁(12)内侧设有多个第二限位槽(122)，多个所述第二限位槽(122)并排且间隔设置并与所述第一限位槽(112)一一对应设置。

7.根据权利要求5所述的晶圆片架，其特征在于，所述第一侧壁(11)的外侧设有多个第一减胶槽；多个所述第一减胶槽并排且间隔设置；

所述第二侧壁(12)的外侧设有多个第二减胶槽(124)，多个所述第二减胶槽(124)并排且间隔设置。

8.根据权利要求5所述的晶圆片架，其特征在于，所述第一延伸部(111)和/或所述第二延伸部(121)上设有与另一所述晶圆片架可拆卸连接以进行导片的连接组件；

所述连接组件包括设置在所述第一延伸部(111)上的第一插孔(1113)以及设置在另一所述晶圆片架的所述第二延伸部(121)上的第二插销(1211)；

或者，所述连接组件包括设置在所述第一延伸部(111)上的第一插销以及设置在另一所述晶圆片架的所述第二延伸部(121)上的第二插孔。

9.根据权利要求5所述的晶圆片架，其特征在于，所述架体(10)包括设置在所述第一侧壁(11)和所述第二侧壁(12)之间的第三侧壁(13)和第四侧壁(14)；所述第三侧壁(13)和所述第四侧壁(14)相对且间隔设置；

所述第三侧壁(13)上设有与自动化机床配合定位的定位筋(131)；

所述第一侧壁(11)和所述第二侧壁(12)与所述第三侧壁(13)连接处设有限位凸筋(114,125)。

10.根据权利要求5所述的晶圆片架，其特征在于，所述第一侧壁(11)设有向下延伸的第三延伸部(113)；

所述第二侧壁(12)设有向下延伸的第四延伸部(123)；

所述第三延伸部(113)的底面设有第一限位缺口(1131)；

所述第四延伸部(123)的底面设有第二限位缺口(1231)。