[实用新型]一种涂层机的机芯构造

说明书

本实用新型涉及真空镀膜设备技术领域，尤其是指一种涂层机的机芯构造，其包括真空容器、离子发生机构和磁性弯管机构，离子发生机构安装于真空内腔并用于产生离子，磁性弯管机构包括基座、真空弯管件、电磁线圈、靶材液冷固定组件和引弧组件，电磁线圈绕设于真空弯管件的外壁，离子发生机构产生的离子轰击靶材，产生带电的溅射原子，带电的溅射原子的移动轨迹与真空弯管件的中心轴线重合设置或平行设置，带电的溅射原子通过真空弯管件进入真空内腔。本构造能够利用气体自动产生离子，带电的溅射原子能够沿弯曲路径溅射到真空内腔的工件的表面，沉积形成镀层，还能够对靶材液冷固定组件实现快速降温，冷却效果好。

技术领域

本实用新型涉及真空镀膜设备技术领域，尤其是指一种涂层机的机芯构造。

背景技术

真空镀膜技术作为一种产生特定膜层的技术，在现实生产生活中有着广泛的应用。真空镀膜技术有三种形式，即蒸发镀膜、溅射镀膜和离子镀。其中磁控溅射可以被认为是镀膜技术中最突出的成就之一。“溅射”是指荷能粒子轰击固体表面(靶)，使固体原子或分子从表面射出的现象。射出的粒子大多呈原子状态，常称为溅射原子。用于轰击靶的溅射粒子可以是电子，离子或中性粒子，因为离子在电场下易于加速获得所需要动能，因此大都采用离子作为轰击粒子。

现有技术中，溅射过程中带电的溅射原子的溅射路径难以控制，通常只能实现沿直线路径溅射，溅射的精准度低，工件的镀层效果差；另外，正离子轰击靶材的过程中，与靶材接触的内部零件处于超高温状态，容易被烧损，导致整个溅射过程失败，工件的镀层失败，无法满足现代化生产的需求。

发明内容

本实用新型要解决的技术问题是提供一种涂层机的机芯构造，能够利用气体自动产生离子，带电的溅射原子能够沿弯曲路径溅射到真空内腔的工件的表面，沉积形成镀层，溅射的精准度高，还能够对靶材液冷固定组件实现快速降温，冷却效果好。

为了解决上述技术问题，本实用新型采用如下技术方案：

一种涂层机的机芯构造，其包括真空容器、离子发生机构和磁性弯管机构，真空容器设有真空内腔，离子发生机构安装于真空内腔并用于产生离子；磁性弯管机构包括基座、真空弯管件、电磁线圈以及均安装于基座的靶材液冷固定组件和引弧组件，基座可拆卸安装于真空容器的侧壁，基座安装于真空弯管件的一端，真空弯管件与真空内腔连通，电磁线圈绕设于真空弯管件的外壁，靶材液冷固定组件用于安装靶材并对靶材降温，引弧组件用于驱使该靶材产生弧斑，离子发生机构产生的离子轰击靶材，产生带电的溅射原子，带电的溅射原子的移动轨迹与真空弯管件的中心轴线重合设置或平行设置，带电的溅射原子通过真空弯管件进入真空内腔。

进一步地，所述离子发生机构包括装配基体、正极载件、负极载件、气腔基件和冷却组件，装配基体安装于真空内腔内，负极载件安装于装配基体的上部，所述冷却组件安装于负极载件的下部并用于对负极载件冷却，正极载件和负极载件之间产生电场，气腔基件设置于正极载件与负极载件之间，以使气腔基件位于所述电场中，所述气腔基件设有离子发生腔以及与离子发生腔连通的多个离子发射通孔，离子通过离子发射通孔进入真空内腔。

进一步地，所述冷却组件包括冷却托件、第一进液咀和第一出液咀，冷却托件安装于负极载件的下部，冷却托件与负极载件围设形成冷却液腔，第一进液咀和第一出液咀分别安装于冷却托件的两端，第一进液咀和第一出液咀与冷却液腔连通，冷却托件和负极载件之间安装有第一密封圈，以用于密封冷却托件和负极载件之间的间隙；所述正极载件安装有电极接线柱，以用于接入电源正极，所述负极载件接入电源负极，正极载件与负极载件之间形成电场。

进一步地，所述离子发生机构还包括冷却围板，冷却围板中部设有安装孔，以用于安装气腔基件，冷却围板的下部设有注液棒，注液棒设有第一进液通道和第一出液通道，冷却围板的上部设有冷却环槽，第一进液通道和第一出液通道均与冷却环槽连通，冷却液依次流经第一进液通道、冷却环槽和第一出液通道，冷却环槽用于对气腔基件冷却，注液棒外侧套设有绝缘部件，绝缘部件用于保护注液棒。