[实用新型]一种气体离化冷却机构有效
申请号: | 202021423103.6 | 申请日: | 2020-07-17 |
公开(公告)号: | CN212357370U | 公开(公告)日: | 2021-01-15 |
发明(设计)人: | 王俊锋;袁明;王锋 | 申请(专利权)人: | 广东鼎泰机器人科技有限公司 |
主分类号: | C23C14/34 | 分类号: | C23C14/34 |
代理公司: | 东莞市华南专利商标事务所有限公司 44215 | 代理人: | 袁敏怡 |
地址: | 523000 广东省东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 气体 冷却 机构 | ||
1.一种气体离化冷却机构,包括装配基体,其特征在于:还包括正极载件、负极载件、气腔基件和冷却组件,负极载件安装于装配基体的上部,所述冷却组件安装于负极载件的下部,以用于对负极载件冷却,正极载件和负极载件之间产生电场,气腔基件设置于正极载件与负极载件之间,以使气腔基件位于所述电场中,所述气腔基件设有离子发生腔以及与离子发生腔连通的多个离子发射通孔。
2.根据权利要求1所述的一种气体离化冷却机构,其特征在于:所述冷却组件包括冷却托件、进液咀和出液咀,冷却托件安装于负极载件的下部,冷却托件与负极载件围设形成冷却液腔,进液咀和出液咀分别安装于冷却托件的两端,进液咀和出液咀与冷却液腔连通。
3.根据权利要求2所述的一种气体离化冷却机构,其特征在于:所述冷却托件和负极载件之间安装有第一密封圈,以用于密封冷却托件和负极载件之间的间隙。
4.根据权利要求1所述的一种气体离化冷却机构,其特征在于:所述负极载件安装有充气咀,所述充气咀与离子发生腔连通。
5.根据权利要求1所述的一种气体离化冷却机构,其特征在于:所述正极载件安装有电极接线柱,以用于接入电源正极,所述负极载件接入电源负极,以用于对离子发生腔提供电场。
6.根据权利要求1所述的一种气体离化冷却机构,其特征在于:所述气体离化冷却机构还包括冷却围板,冷却围板中部设有安装孔,以用于安装气腔基件。
7.根据权利要求6所述的一种气体离化冷却机构,其特征在于:所述冷却围板的下部设有注液棒,注液棒设有进液通道和出液通道,冷却围板的上部设有冷却环槽,进液通道和出液通道均与冷却环槽连通,冷却液依次流经进液通道、冷却环槽和出液通道,以用于对气腔基件冷却。
8.根据权利要求7所述的一种气体离化冷却机构,其特征在于:所述注液棒外侧套设有绝缘部件,以用于保护注液棒。
9.根据权利要求1所述的一种气体离化冷却机构,其特征在于:所述气体离化冷却机构还包括多个磁性部件,所述气腔基件设有多个限位孔,多个限位孔呈环形阵列,形成限位孔环,多个离子发射通孔呈直线阵列,多个离子发射通孔均位于限位孔环内部,多个磁性部件分别限位于多个限位孔。
10.根据权利要求1所述的一种气体离化冷却机构,其特征在于:所述气腔基件和负极载件之间安装有第二密封圈,以用于密封气腔基件和负极载件之间的间隙。
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