[实用新型]一种用于晶圆电阻切割设备的驱动器有效

专利信息
申请号: 202021424425.2 申请日: 2020-07-20
公开(公告)号: CN212793915U 公开(公告)日: 2021-03-26
发明(设计)人: 戴严淼 申请(专利权)人: 深圳精技工业科技有限公司
主分类号: B23Q1/00 分类号: B23Q1/00;B23Q1/72;B23Q11/00
代理公司: 北京科家知识产权代理事务所(普通合伙) 11427 代理人: 宫建华
地址: 518000 广东省深圳市龙华区观澜街道大富*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 一种 用于 电阻 切割 设备 驱动器
【权利要求书】:

1.一种用于晶圆电阻切割设备的驱动器,包括驱动器本体和安装座,其特征在于:所述安装座位于驱动器本体的下方,所述驱动器本体的底部设置有连接机构,所述安装座的顶部开设有插槽,所述插槽内腔的底部设置有减震机构,所述插槽内腔的两侧均开设有凹槽,所述凹槽的内腔活动连接有楔形块,所述凹槽内腔的顶部与底部均设置有限位机构,所述楔形块的一侧固定连接有弹簧二,所述弹簧二远离楔形块的一端与凹槽的内壁固定连接,所述楔形块的正表面设置有拨动机构。

2.根据权利要求1所述的一种用于晶圆电阻切割设备的驱动器,其特征在于:所述连接机构包含有固定连接于驱动器本体底部的连接座,所述连接座位于插槽的内腔,所述连接座的两侧均开设有卡槽,所述楔形块远离弹簧二的一侧贯穿至卡槽的内腔。

3.根据权利要求2所述的一种用于晶圆电阻切割设备的驱动器,其特征在于:所述减震机构包含有活动连接于插槽内腔的横板,所述横板的顶部与连接座接触,所述横板的底部固定连接有多个活动柱,所述活动柱的表面滑动连接有固定座,所述固定座的底部与插槽的内壁固定连接,活动柱的底端固定连接有弹簧一,所述弹簧一的底端与插槽的内壁固定连接。

4.根据权利要求1所述的一种用于晶圆电阻切割设备的驱动器,其特征在于:所述限位机构包含有开设于凹槽内腔顶部与底部的滑槽,所述滑槽的内腔滑动连接有滑块,所述滑块远离滑槽的一侧与楔形块固定连接。

5.根据权利要求1所述的一种用于晶圆电阻切割设备的驱动器,其特征在于:所述拨动机构包含有固定连接于楔形块正表面的活动杆,所述安装座的正表面开设有与活动杆相适配的贯穿孔。

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