[实用新型]一种多线切割机

说明书

一种多线切割机，设有主体框架、工作台及其升降摇摆系统、布线系统、切割液循环系统和电气控制系统；所述主体框架分割为切割室、收放线室、电机布置室和主控室，所述切割室位于主体框架的正前方，所述收放线室位于切割室一侧，所述电机布置室位于切割室后面，所述主控室位于切割室的另一侧；所述工作台及其升降摇摆系统安装在切割室的上部，其中工作台以倒置方式布置；所述布线系统置于收放线室和切割室中；所述切割液循环系统连接主体框架外面的切割液供给设备、切割室与切割液回收处理设备；所述电气控制系统布置在主控室中，通过导线与各控制元件连接。本实用新型改善了工件切割面质量、满足了高精度工件的加工要求。

技术领域

本实用新型涉及一种多线切割机，尤其是一种配置直联伺服电机驱动的四轴切割线网及倒置摇摆工作台的多线切割机。

背景技术

多线切割是一种通过金属丝的高速往复运动，把磨料带入半导体加工区域进行研磨，将半导体等硬脆材料一次同时切割为数百片薄片的一种新型切割加工方法。目前，数控多线切割已逐渐取代了传统的内圆切割，成为硬脆材料切割加工的主要方式，多线切割机设备在半导体材料加工领域得到广泛应用。

现有技术中，多线切割机的工作台大多布置在切割线网的下方，通过金属切割线往复运动与工作台上工件进给运动的配合实现工件切割，由于切割过程中产生的碎屑及切割材料崩裂碎片落入切割线网与槽轮之间，导致切割线跳线或断线，造成切割质量差、切割工件损坏的问题，因此现有的多线切割机设备难以满足高精度工件的加工要求。

实用新型内容

本实用新型提供一种多线切割机，旨在通过直联伺服电机驱动的四轴切割线网和倒置摇摆工作台的配合，达到改善工件切割面质量、满足高精度工件加工要求的目的。

为实现上述目的，本实用新型采用如下技术方案：

一种多线切割机，设有主体框架、工作台及其升降摇摆系统、布线系统、切割液循环系统和电气控制系统；所述主体框架固定安装在水平地面上，通过骨架和隔板将其分割为切割室、收放线室、电机布置室和主控室，所述切割室位于主体框架的正前方，所述收放线室位于切割室一侧，所述电机布置室位于切割室后面，所述主控室位于切割室的另一侧；所述工作台及其升降摇摆系统安装在切割室的上部，其中工作台以倒置方式布置；所述布线系统置于收放线室及切割室中，在切割室中形成由直联伺服电机驱动的四轴切割线网；所述切割液循环系统连接主体框架外面的切割液供给设备、切割室与切割液回收处理设备；所述电气控制系统布置在主控室中，通过导线与各控制元件连接。

上述多线切割机，所述工作台及其升降摇摆系统还包括升降机构和摇摆机构；所述升降机构设有固定座、升降电机、升降座、升降基座和丝杠螺母传动组件；所述固定座与切割室顶部固定装配，在固定座上安装升降电机，所述升降电机输出轴与丝杠螺母传动组件中的丝杠固定连接，所述丝杠螺母传动组件中的螺母与升降座固定装配，所述升降基座固定在升降座底部，在升降基座下端两侧立板上设有与摇摆机构配合的铰接孔；所述工作台通过摇摆机构与升降基座装配。

上述多线切割机，所述升降机构还设有升降导向组件，所述升降导向组件由升降导轨和固定导向块组成，所述升降导轨固定在升降座上，左右对称布置两组，所述固定导向块安装在固定座上，左右对称布置四组。

上述多线切割机，所述摇摆机构设有摇摆电机、减速器、连杆组件和转轴；所述摇摆电机固定安装在升降座上，摇摆电机的输出轴通过减速器将动力传递至连杆组件；所述连杆组件包括第一连杆、连杆滑块、连杆滑轨和第二连杆，所述第一连杆一端与减速器输出轴装配，另一端与连杆滑块铰接装配，所述连杆滑块与连杆滑轨配装，所述连杆滑轨与第二连杆一端铰接装配，所述第二连杆的另一端与转轴装配，所述转轴与工作台固定装配。

上述多线切割机，所述转轴对称布置两组，分别安装在升降基座两端的铰接孔中，并在转轴与升降基座的铰接孔之间设置轴承。

上述多线切割机，所述升降电机、摇摆电机均为伺服电机。