[实用新型]烘烤设备和烘烤系统

说明书

本申请公开了一种烘烤设备和烘烤系统。该设备包括：设备本体，该设备本体包括一烘烤腔室及一物料取放口,烘烤腔室与物料取放口连通；门板，门板设置在物料取放口处，门板与设备本体活动连接,烘烤腔室通过门板实现封闭状态或开放状态；抽风孔，设置在物料取放口附近，用于在门板打开时，通过与其连接的一外部抽风设备抽取抽风孔附近的气体。通过本申请，解决了相关技术中在打开烘烤箱时箱内的气体排出以及箱外的气体进入的问题。

技术领域

本申请涉及烘烤设备技术领域，具体而言，涉及一种烘烤设备和烘烤系统。

背景技术

在黄光涂布工艺中，涂布光刻胶后的基片会送入烤箱中进行烘烤，从而使得光刻胶中的有机溶剂挥发，以达到光刻胶固化、稳定的作用。

需要说明的是，相关技术中的烘烤装置因烘烤室内部温度比烘烤室外部温度高，内外部空气压强存在差异，在烘烤前将基片送入烘烤箱内或是在烘烤后将基片从烘烤箱取出时，在打开烘烤箱的门板的过程中，会出现以下现象：烘烤室内高温气体向外溢出，或是外部空气进入烘烤箱内部，从而出现以下问题：一方面，由于烘烤箱内含有光刻胶溶剂、光刻胶升华物等物质的高温空气排出烘烤箱外部，致使外部空气中有机物浓度升高，影响环境；另一方面，由于烘烤箱外部含有粉尘的冷空气进入烘烤箱内，致使烘烤箱洁净度降低，若灰尘掉落在基片上，会影响基片良率，且冷空气进入会影响烘烤箱内温度均一性，从而对产品良率造成影响。

针对相关技术中在打开烘烤箱时箱内的气体排出以及箱外的气体进入的问题，目前尚未提出有效的解决方案。

实用新型内容

鉴于上述现有技术的不足，本申请的目的在于提供一种烘烤设备和烘烤系统，以解决相关技术中在打开烘烤箱时箱内的气体排出以及箱外的气体进入的问题。

根据本申请的一个方面，提供了一种烘烤设备。该设备包括：设备本体，该设备本体包括一烘烤腔室及一物料取放口,烘烤腔室与物料取放口连通；门板，门板设置在物料取放口处，门板与设备本体活动连接,烘烤腔室通过门板实现封闭状态或开放状态；抽风孔，设置在物料取放口附近，用于在门板打开时，通过与其连接的一外部抽风设备抽取抽风孔附近的气体。

可选地，抽风孔开设在设备本体上。

可选地，该设备还包括：第一密封件，设置在门板上，其中，门板关闭时，第一密封件密封抽风孔，门板打开时，烘烤腔室通过抽风孔与抽风设备连通。

可选地，该设备还包括：第二密封件，设置在设备本体上，其中，门板关闭时，第二密封件密封抽风孔，门板打开时，烘烤腔室通过抽风孔与抽风设备连通。

可选地，密封件包括：第三密封件，设置在门板上；第四密封件，设置在设备本体上，其中，门板关闭时，第三密封件和第四密封件处于接触状态，烘烤腔室通过门板、第三密封件、第四密封件以及设备本体形成密封空间；门板打开时，第三密封件和第四密封件处于非接触状态，烘烤腔室通过抽风孔与抽风设备连通。

可选地，该设备还包括：抽气管路，用于连通抽风孔与抽风设备。

可选地，该设备还包括：传感器，设置在门板上，用于检测门板的打开和门板的关闭。

可选地，该设备还包括：控制阀门，设置在抽气管路上，其中，在门板打开时，控制阀门打开，在门板关闭时，控制阀门关闭。

可选地，抽风孔开设在门板上，在门板关闭时，该设备本体封闭抽风孔。

基于同样的实用新型构思，本申请还提供一种烘烤系统。该系统包括：上述的烘烤设备。