[实用新型]溅射镀膜机有效

专利信息
申请号: 202021451314.0 申请日: 2020-07-21
公开(公告)号: CN212800520U 公开(公告)日: 2021-03-26
发明(设计)人: 傅志坚;苏良民 申请(专利权)人: 青岛华磊真空镀膜有限公司
主分类号: C23C14/34 分类号: C23C14/34;C23C14/50
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 266000 山东省*** 国省代码: 山东;37
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摘要:
搜索关键词: 溅射 镀膜
【说明书】:

实用新型公开了一种溅射镀膜机,其技术方案要点是包括呈圆筒状设置的镀膜室、设置在镀膜室一侧的开关门、设置在镀膜室当中的轴线方向竖直设置的转动筒、设置在转动筒当中并且与转动筒同轴的固定杆、转动连接在转动筒上的若干支撑杆、设置在镀膜室底部的用于对转动筒进行转动的电机以及固定连接在镀膜室底部的用于对镀膜室进行支撑的两竖直设置的支撑板,通过电机带动转动筒进行转动,转动筒在进行转动的通过固定杆带动支撑杆进行转动,从而使得轮毂既能够围绕支撑杆的轴线转动,又能够围绕转动筒的轴线进行转动,从而使得轮毂各处都都能够靠近靶材,从而使得轮毂各处的镀膜厚度更加均匀,提高了轮毂表面镀膜的均匀性。

技术领域

本实用新型涉及轮毂溅射镀的技术领域,更具体的说,它涉及一种溅射镀膜机。

背景技术

轮毂在加工完毕之后需要在轮毂的表面镀一层膜,在进行镀膜的时候大多选用溅射镀的方式来进行镀膜,溅射镀就是将将靶材固定在镀膜机的内壁上,然后使得靶材上的原子与板材脱离之后依附在轮毂表面形成一层保护膜。

但是因为轮毂的尺寸比较大,使得进行溅射镀的时候,因为轮毂各处与靶材的距离不同,使得轮毂各处镀膜厚度存在较大的差异,降低了轮毂表面镀膜的均匀性。

实用新型内容

针对现有技术存在的不足,本实用新型的目的在于提供一种溅射镀膜机,其通过电机带动转动筒进行转动,转动筒在进行转动的通过固定杆带动支撑杆进行转动,从而使得轮毂既能够围绕支撑杆的轴线转动,又能够围绕转动筒的轴线进行转动,从而使得轮毂各处都都能够靠近靶材,从而使得轮毂各处的镀膜厚度更加均匀,提高了轮毂表面镀膜的均匀性。

为实现上述目的,本实用新型提供了如下技术方案:一种溅射镀膜机,包括呈圆筒状设置的镀膜室、设置在镀膜室一侧的开关门、设置在镀膜室当中的轴线方向竖直设置的转动筒、设置在转动筒当中并且与转动筒同轴的固定杆、转动连接在转动筒上的若干支撑杆、设置在镀膜室底部的用于对转动筒进行转动的电机以及固定连接在镀膜室底部的用于对镀膜室进行支撑的两竖直设置的支撑板;

支撑杆设置有若干组,若干组支撑杆沿竖直方向排布,同一组的两支撑杆分别位于转动筒的两侧且同一组的两支撑杆同轴设置,支撑杆的轴线方向沿转动筒的径向方向设置,同一组的两支撑杆相互靠近的一端都伸入到转动筒当中,两支撑杆伸入转动筒当中的一端都固定连接有与支撑杆同轴的锥齿轮,同一组的两支撑杆之间都设置有固定连接在固定杆上的锥齿轮,固定杆上的锥齿轮与固定杆同轴设置,同一组的两支撑杆上的锥齿轮与两支撑杆之间的锥齿轮相互啮合;支撑杆背离转动筒的一端固定连接有与支撑杆同轴的固定盘;

镀膜室的顶部为顶板,底部为底板,固定杆固定连接在镀膜室的顶板上,转动筒沿竖直方向贯穿镀膜室的底板并且转动连接在底板上。

通过采用上述技术方案,将靶材均匀的分布在镀膜室的内壁上,通过电机带动转动筒进行转动,转动筒在进行转动的通过固定杆带动支撑杆进行转动,从而使得轮毂既能够围绕支撑杆的轴线转动,又能够围绕转动筒的轴线进行转动,从而使得轮毂各处都都能够靠近靶材,从而使得轮毂各处的镀膜厚度更加均匀,提高了轮毂表面镀膜的均匀性。

本实用新型进一步设置为:所述电机固定连接在镀膜室地板的底部,电机的输出轴和转动筒上都固定连接有皮带轮,两皮带轮上设置有绕设在两皮带轮外侧的皮带。

本实用新型进一步设置为:所述镀膜室的顶部的底部固定连接有两与转动筒同轴的限位环,其中一限位环的外径等与转动筒的内径,另一限位环的内径等于转动筒外径。

通过采用上述技术方案,通过设置限位环,使得转动筒在进行转动的过程当中不容易发生晃动。

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