[实用新型]一种光耦支架翻转板有效
申请号: | 202021455756.2 | 申请日: | 2020-07-22 |
公开(公告)号: | CN212542387U | 公开(公告)日: | 2021-02-12 |
发明(设计)人: | 曾尚文;陈久元;杨利明;李洪贞 | 申请(专利权)人: | 四川晶辉半导体有限公司 |
主分类号: | H01L21/68 | 分类号: | H01L21/68;H01L21/683 |
代理公司: | 成都诚中致达专利代理有限公司 51280 | 代理人: | 曹宇杰 |
地址: | 62920*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 支架 翻转 | ||
1.一种光耦支架翻转板,其特征在于,包括:
矩形板(10),所述矩形板(10)沿长度方向加工有两条平行的主气道(11),所述主气道(11)均与吸气泵相连,所述矩形板(10)顶面对应每条所述主气道(11)各加工有至少一个沉孔(12),所述沉孔(12)底部同轴加工有导向孔(13)以及排气孔(14),所述导向孔(13)与所述沉孔(12)同轴,并贯穿所述矩形板(10),所述排气孔(14)与所述主气道(11)连通,所述矩形板(10)底面加工多个吸气孔(15),所述吸气孔(15)均与所述主气道(11)连通,所述沉孔(12)顶端设有密封盖(16);
定位部件(20),所述定位部件(20)包括活塞柱(21)以及定位销(22),所述活塞柱(21)滑动设于所述沉孔(12),所述定位销(22)穿过所述导向孔(13),所述定位销(22)的长度大于所述导向孔(13)的深度。
2.根据权利要求1所述的一种光耦支架翻转板,其特征在于,所述矩形板(10)底面阵列加工有多个平行的矩形凹槽(101)。
3.根据权利要求1所述的一种光耦支架翻转板,其特征在于,所述密封盖(16)与所述矩形板(10)之间设有密封圈(17)。
4.根据权利要求1所述的一种光耦支架翻转板,其特征在于,所述主气道(11)贯通所述矩形板(10)两端,一端采用堵头(18)密封,另一端安装有气管接头(19)。
5.根据权利要求1所述的一种光耦支架翻转板,其特征在于,所述沉孔(12)设有四个,每条所述主气道(11)各对应设置两个,并且四个所述沉孔(12)呈矩形分布,所述沉孔(12)均设有所述定位部件(20)。
6.根据权利要求1所述的一种光耦支架翻转板,其特征在于,所述活塞柱(21)顶部加工有盲孔(211)。
7.根据权利要求1所述的一种光耦支架翻转板,其特征在于,所述活塞柱(21)与所述沉孔(12)之间涂抹有一层油膜。
8.根据权利要求1所述的一种光耦支架翻转板,其特征在于,所述吸气孔(15)每两个为一组,沿所述主气道(11)的轴线分布。
9.根据权利要求1所述的一种光耦支架翻转板,其特征在于,所述主气道(11)、排气孔(14)以及吸气孔(15)均为圆孔,所述主气道(11)的直径大于所述排气孔(14)与吸气孔(15)的直径。
10.根据权利要求1所述的一种光耦支架翻转板,其特征在于,所述活塞柱(21)与所述定位销(22)为一体成型结构。
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H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
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