[实用新型]一种曝光机真空曝光室

权利要求书

1.一种曝光机真空曝光室，包括机箱(2)，其特征在于，所述机箱(2)的底端外壁固定连接有基座(1)，且机箱(2)的顶部外壁固定连接有曝光仓(5)，所述曝光仓(5)的一侧外壁对称设有室门(8)，且曝光仓(5)的顶部外壁固定连接有上盖板(6)，所述曝光仓(5)的两侧外壁中部均设有连接仓门(3)，且连接仓门(3)的上方固定连接有电控箱(4)，所述机箱(2)的内壁中部上设有内曝光箱(12)，且机箱(2)的四侧内壁均固定连接有调节电机(10)，所述内曝光箱(12)的四侧内壁中部均设有边投射曝光灯(14)，且内曝光箱(12)的底端内壁中部固定连接有中置投射曝光灯(15)，所述内曝光箱(12)的四侧内边顶部均固定连接有边聚光组件(13)，所述机箱(2)的四侧内壁均设有真空度检测器(11)，且真空度检测器(11)的信号端连接有微处理器，所述机箱(2)的外壁靠近室门(8)的一侧设有控制台(9)，所述边聚光组件(13)包括三棱镜(17)、遮光条(16)和传动轮(18)，且传动轮(18)的内壁通过轴连接在三棱镜(17)的两端外壁中部，所述遮光条(16)的底端粘接在三棱镜(17)的顶端内边上，所述调节电机(10)的输出轴连接有驱动轮，且驱动轮的外壁和传动轮(18)的外壁之间形成传动配合。

2.根据权利要求1所述的一种曝光机真空曝光室，其特征在于，所述调节电机(10)的调节范围为零至三十度，且三棱镜(17)的底边外壁和边投射曝光灯(14)的外壁之间为垂直结构。

3.根据权利要求1所述的一种曝光机真空曝光室，其特征在于，所述曝光仓(5)的外壁靠近室门(8)的一角设有工况指示灯(7)，且工况指示灯(7)和真空度检测器(11)通过电性连接。

4.根据权利要求1所述的一种曝光机真空曝光室，其特征在于，所述电控箱(4)的内壁设有两个相互平行的液压杆，且液压杆的底端外壁和连接仓门(3)相连接。

5.根据权利要求1所述的一种曝光机真空曝光室，其特征在于，所述调节电机(10)、边投射曝光灯(14)、中置投射曝光灯(15)和液压杆均连接有开关，且开关通过导线和微处理器相连接。

6.根据权利要求1所述的一种曝光机真空曝光室，其特征在于，还包括L型镜仓(19)和发射镜(20)，所述传动轮(18)的两侧内壁通过轴连接在发射镜(20)的两边外壁中部，且发射镜(20)的两边外壁转动连接在L型镜仓(19)的内壁上。

7.根据权利要求6所述的一种曝光机真空曝光室，其特征在于，所述发射镜(20)的外壁中部设有光照强度传感器，且光照强度传感器的信号端通过信号线和微处理器相连接。