[实用新型]一种用于物理气相沉积的球体零件镀膜夹具有效
申请号: | 202021458667.3 | 申请日: | 2020-07-22 |
公开(公告)号: | CN212375373U | 公开(公告)日: | 2021-01-19 |
发明(设计)人: | 陈火根 | 申请(专利权)人: | 昆山欧思克精密工具有限公司 |
主分类号: | C23C14/50 | 分类号: | C23C14/50 |
代理公司: | 苏州睿昊知识产权代理事务所(普通合伙) 32277 | 代理人: | 沈彬彬 |
地址: | 215000 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 用于 物理 沉积 球体 零件 镀膜 夹具 | ||
1.一种用于物理气相沉积的球体零件镀膜夹具,包括分别固定在转炉杆上的上夹具和下夹具,其特征在于,所述上夹具包括套设在转炉杆上的基盘,所述基盘上设置有若干转盘轴承,所述转盘轴承内设置有上支架;所述下夹具包括依次套设在转炉杆上的底盘、中盘和上盘,所述上盘固定在所述转炉杆上,所述上盘设置有与所述转盘轴承位置对应的转动柱,所述转动柱上设置有与所述上支架位置对应的下支架,所述底盘固定在上盘上,所述中盘夹在底盘和上盘之间,所述中盘能够相对于底盘和上盘转动,所述中盘的一侧设置有突出部,所述突出部上设置有拨片,所述拨片能够拨动所述转动柱转动。
2.如权利要求1所述的用于物理气相沉积的球体零件镀膜夹具,其特征在于,所述转盘轴承和转动柱均以转炉杆为中心,分别周向均匀分布在基盘和上盘上。
3.如权利要求1所述的用于物理气相沉积的球体零件镀膜夹具,其特征在于,所述上盘上突出设置有小圆柱,所述转动柱底端设置有圆柱孔与上盘上小圆柱配合,所述转动柱能够在小圆柱上转动。
4.如权利要求1所述的用于物理气相沉积的球体零件镀膜夹具,其特征在于,所述转动柱的外周设置有与所述拨片配合的转动柱凹槽。
5.如权利要求1所述的用于物理气相沉积的球体零件镀膜夹具,其特征在于,所述上支架与所述转盘轴承分体连接,所述下支架与所述转动柱分体连接。
6.如权利要求5所述的用于物理气相沉积的球体零件镀膜夹具,其特征在于,所述上支架插入到所述转盘轴承中,所述上支架与转盘轴承采用过盈配合的方式连接。
7.如权利要求5所述的用于物理气相沉积的球体零件镀膜夹具,其特征在于,所述下支架与所述转动柱通过螺纹连接。
8.如权利要求1所述的用于物理气相沉积的球体零件镀膜夹具,其特征在于,所述上支架和下支架的端面均设置有与所述球体零件匹配的球形凹槽。
9.如权利要求1所述的用于物理气相沉积的球体零件镀膜夹具,其特征在于,所述转炉杆上设置有多个固定凹槽,所述基盘和上盘均通过紧固螺钉旋入到固定凹槽中将基盘和上盘的位置固定。
10.如权利要求1所述的用于物理气相沉积的球体零件镀膜夹具,其特征在于,所述拨片通过拨片立柱和拨片螺钉固定在中盘的突出部上,所述拨片立柱焊接或者通过螺栓连接在所述中盘上。
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