[实用新型]一种多工位多机氦质谱检漏系统

权利要求书

1.一种多工位多机氦质谱检漏系统，其特征在于：包括清扫气源、多个氦质谱检漏仪、多个检测工位，所述检测工位与所述氦质谱检漏仪数量相同并对应连接，多个待检测件分别与各所述检测工位连接，各所述检测工位分别与所述清扫气源连接。

2.根据权利要求1所述的一种多工位多机氦质谱检漏系统，其特征在于：各所述检测工位上均设置有多个检测操作通路，分别为清扫通路、检测通路与破空通路，所述清扫气源通过所述清扫通路分别与各所述检测工位连接，所述氦质谱检漏仪通过所述检测通路分别与各所述检测工位连接，所述破空通路分别与各所述检测工位连接。

3.根据权利要求2所述的一种多工位多机氦质谱检漏系统，其特征在于：所述清扫通路、所述检测通路、所述破空通路上均设置有控制阀。

4.根据权利要求2所述的一种多工位多机氦质谱检漏系统，其特征在于：各所述检测工位的各所述清扫通路同时运行，各所述检测工位的各所述检测通路同时运行，各所述检测工位的各所述破空通路同时运行。

5.根据权利要求2所述的一种多工位多机氦质谱检漏系统，其特征在于：各所述检测工位的各所述清扫通路不同时运行，各所述检测工位的各所述检测通路不同时运行，各所述检测工位的各所述破空通路不同时运行。

6.根据权利要求3所述的一种多工位多机氦质谱检漏系统，其特征在于：所述多工位多机氦质谱检漏系统还包括多个真空计，多个所述真空计分别与各所述检测工位连接。

7.根据权利要求6所述的一种多工位多机氦质谱检漏系统，其特征在于：所述多工位多机氦质谱检漏系统还包括控制系统，各所述控制阀、所述氦质谱检漏仪、各所述真空计分别与所述控制系统电连接。

8.根据权利要求1所述的一种多工位多机氦质谱检漏系统，其特征在于：所述检测工位上设置有检测工装。

9.根据权利要求1所述的一种多工位多机氦质谱检漏系统，其特征在于：所述清扫气源为氮气或压缩空气。