[实用新型]一种用于坩埚的监控设备

说明书

本实用新型公布一种用于坩埚的监控设备，所述监控设备设置在坩埚处，所述坩埚用于装填蒸镀材料，所述监控设备包括导线、导电浮块和浮块衔接装置；所述浮块衔接装置具有间隔的两端子，所述浮块衔接装置的两端子分别与一所述导线连接，所述导线延伸到坩埚外；所述导电浮块用于浮于所述蒸镀材料上；所述浮块衔接装置设置在坩埚的底部，所述导电浮块用于与所述浮块衔接装置接触连接后使所述浮块衔接装置的两端连通。上述技术方案用可以对工作人员起到预警的作用，工作人员可以有序地进行补充蒸镀材料或者停止蒸镀，减少人力浪费的同时提高了坩埚的稼动。监控设备保障了蒸镀速率的稳定，避免基板上的膜质出现异常，提高产品的良率。

技术领域

本实用新型涉及蒸镀设备领域，尤其涉及一种用于坩埚的监控设备。

背景技术

目前制备有机发光二极管(Organic Light Emitting Diode，缩写OLED)器件普遍采用真空热蒸镀的成膜方式，真空热蒸镀技术是指在低于5×10^-5Pa的真空环境下，通过电阻丝加热或者热辐射加热的方式使有机小分子材料升华或者熔融气化成蒸气的状态，高速运动的气态分子材料到达玻璃基板并在基板上沉积固化，形成固体薄膜。

现在采用的蒸发源为点源坩埚和线源坩埚，点源坩埚多为圆柱形坩埚，线源坩埚多为长方体形坩埚。蒸镀材料加入在坩埚源中，随着蒸镀时间越来越长，蒸镀材料越来越少，需要定期或者定量增加蒸镀材料，以保障设备正常运行。当蒸镀材料的剩余量过少时，蒸镀速率会受到影响，蒸镀薄膜的膜质变差，会直接影响产品的亮度和寿命。

实用新型内容

为此，需要提供一种用于坩埚的监控设备，解决监控坩埚内蒸镀材料不到位的问题。

为实现上述目的，本发明提供了一种用于坩埚的监控设备，所述监控设备设置在坩埚处，所述坩埚用于装填蒸镀材料，所述监控设备包括导线、导电浮块和浮块衔接装置；

所述浮块衔接装置具有间隔的两端子，所述浮块衔接装置的两端子分别与一所述导线连接，所述导线延伸到坩埚外；

所述导电浮块用于浮于所述蒸镀材料上；

所述浮块衔接装置设置在坩埚的底部，所述导电浮块用于与所述浮块衔接装置接触连接后使所述浮块衔接装置的两端连通。

进一步地，还包括绝缘连接线，所述导电浮块的两端分别通过所述绝缘连接线连接到所述浮块衔接装置处。

进一步地，所述浮块衔接装置包括两个衔接柱，两个所述衔接柱之间具有间隔，一个衔接柱上设置有一个所述端子，两个所述衔接柱的间隔小于所述导电浮块的长度，所述衔接柱用于与导电浮块连接后让所述浮块衔接装置的两端子形成通路。

进一步地，所述导电浮块为探针。

进一步地，所述浮块衔接装置还包括电阻，所述电阻与所述浮块衔接装置的两端子并联。

进一步地，还包括报警装置和电源，所述浮块衔接装置、所述报警装置和所述电源之间通过所述导线连接。

进一步地，所述报警装置包括蜂鸣器和/或报警灯。

进一步地，还包括中央集成系统，所述中央集成系统设置在所述坩埚外，所述中央集成系统与所述导线连接。

区别于现有技术，上述技术方案用在坩埚中设置导电浮块和浮块衔接装置，导电浮块会在浮力的作用下而悬浮。当蒸镀材料减少至预警剩余量时，导电浮块也会随之下降并落至浮块衔接装置处，并使所述浮块衔接装置的两端连通。一方面，监控设备对工作人员起到预警的作用，工作人员可以有序地进行补充蒸镀材料或者停止蒸镀，减少人力浪费的同时提高了坩埚的稼动率；另一方面，监控设备保障了蒸镀速率的稳定，避免基板上的膜质出现异常，提高产品的良率。

附图说明

图1为本实施例所述监控设备的剖面结构示意图；