[实用新型]一种用于坩埚材料消耗的监控设备

说明书

本实用新型公布一种用于坩埚材料消耗的监控设备，包括坩埚固定装置、弹性装置、传感器和信号发射器；所述坩埚固定装置为中空结构且顶部具有开口，所述坩埚固定装置的内部用于放置坩埚，所述坩埚固定装置与弹性装置连接，所述弹性装置的伸缩方向为上下走向；在所述坩埚固定装置的外侧壁上设置有所述信号发射器，在所述坩埚固定装置外设置有所述传感器，所述传感器位于所述信号发射器的一侧，所述传感器用于在信号发射器进入到传感器的感应区域内发出信号。上述技术方案中监控设备对工作人员起到预警的作用，保障了蒸镀速率的稳定，避免基板上的膜质出现异常，提高产品的良率。

技术领域

本实用新型涉及蒸镀设备领域，尤其涉及一种用于坩埚材料消耗的监控设备。

背景技术

目前制备有机发光二极管(Organic Light Emitting Diode，缩写OLED) 器件普遍采用真空热蒸镀的成膜方式，真空热蒸镀技术是指在低于5×10-5 Pa的真空环境下，通过电阻丝加热或者热辐射加热的方式使有机小分子材料升华或者熔融气化成蒸汽的状态，高速运动的气态分子材料到达玻璃基板并在基板上沉积固化，形成固体薄膜。

现在采用的蒸发源为点源坩埚和线源坩埚，点源坩埚多为圆柱形坩埚，线源坩埚多为长方体形坩埚。蒸镀材料加入在坩埚源中，随着蒸镀时间越来越长，蒸镀材料越来越少，需要定期或者定量增加蒸镀材料，以保障设备正常运行。当蒸镀材料的剩余量过少时，蒸镀速率会受到影响，蒸镀薄膜的膜质变差，会直接影响产品的亮度和寿命。

实用新型内容

为此，需要提供一种用于坩埚材料消耗的监控设备，解决监控坩埚内蒸镀材料不到位的问题。

为实现上述目的，发明人提供了一种用于坩埚材料消耗的监控设备，包括坩埚固定装置、弹性装置、传感器和信号发射器；

所述坩埚固定装置为中空结构且顶部具有开口，所述坩埚固定装置的内部用于放置坩埚，所述坩埚固定装置与弹性装置连接，所述弹性装置的伸缩方向为上下走向；

在所述坩埚固定装置的外侧壁上设置有所述信号发射器，在所述坩埚固定装置外设置有所述传感器，所述传感器位于所述信号发射器的一侧，所述传感器用于在信号发射器进入到传感器的感应区域内发出信号。

进一步地，所述坩埚固定装置的顶部连接有所述弹性装置的一端，所述弹性装置的另一端设置在坩埚固定装置的上方。

进一步地，所述传感器为两个，两个所述传感器设置在不同的高度，且均正对所述信号发射器。

进一步地，所述传感器与所述信号发射器的位置互换。

进一步地，所述弹性装置为弹簧。

进一步地，所述信号发射器为磁铁。

区别于现有技术，上述技术方案中信号发射器是固定在所述坩埚固定装置的外侧壁上，所以会随着所述坩埚固定装置的上升而上升，随着所述坩埚固定装置的下降而下降，所以当信号发射器的高度变化时，会进入到传感器的感应区域内，传感器感应到信号发射器进入到感应范围中。一方面，监控设备对工作人员起到预警的作用，工作人员可以有序地进行补充蒸镀材料或者停止蒸镀，减少人力浪费的同时提高了坩埚的稼动率；另一方面，监控设备保障了蒸镀速率的稳定，避免基板上的膜质出现异常，提高产品的良率。

附图说明

图1为本实施例所述监控设备的剖面结构示意图。

附图标记说明：

10、传感器；

101、剩余量预警传感器；

102、材料填满预警传感器；

11、信号发射器；

12、弹性装置；

13、坩埚固定装置。