[实用新型]一种平面波导型光分路器用晶圆照胶装置

权利要求书

1.一种平面波导型光分路器用晶圆照胶装置，包括底部支撑块（1），其特征是，所述底部支撑块（1）内腔底部设有UV面光源（2），且底部支撑块（1）上端设有横向支撑板（3），所述横向支撑板（3）中部开设有光照孔（4），且其上方设有透光板（5），所述透光板（5）上设有待照胶晶圆（6），且其待照胶晶圆（6）通过压紧机构（7）压紧于透光板（5）上。

2.根据权利要求1所述的一种平面波导型光分路器用晶圆照胶装置，其特征是，所述底部支撑块（1）内腔设为拱形杯状，且底部固定有UV面光源（2）。

3.根据权利要求1所述的一种平面波导型光分路器用晶圆照胶装置，其特征是，所述横向支撑板（3）上罩扣有光罩（8）。

4.根据权利要求1所述的一种平面波导型光分路器用晶圆照胶装置，其特征是，所述透光板（5）放置于横向支撑板（3）上开设的光照孔（4）上，其透光板（5）直径大于光照孔（4）直径。

5.根据权利要求1所述的一种平面波导型光分路器用晶圆照胶装置，其特征是，所述待照胶晶圆（6）直径小于光照孔（4）直径。

6.根据权利要求1所述的一种平面波导型光分路器用晶圆照胶装置，其特征是，所述压紧机构（7）由导向杆（71）、弹簧（72）、导向推板（73）、调节螺母（74）、连接杆（75）和压板（76）构成。

7.根据权利要求6所述的一种平面波导型光分路器用晶圆照胶装置，其特征是，所述导向杆（71）固定于横向支撑板（3）一侧且位于其上开设的光照孔（4）一侧，所述弹簧（72）套设于导向杆（71）上，其上套设导向推板（73），所述弹簧（72）位于横向支撑板（3）与导向推板（73）之间，所述导向杆（71）上连接有调节螺母（74），所述导向推板（73）另一端下方通过连接杆（75）固定连接有压板（76），所述压板（76）直径大于待照胶晶圆（6）直径。