[实用新型]一种PECVD载板清洗机

权利要求书

1.一种PECVD载板清洗机，其特征在于：包括清洗槽、烘干槽、排风装置、行车机构和载板花篮装置，所述清洗槽包括碱洗槽、水洗槽和储液槽，所述碱洗槽和补液槽通过管路连通，所述烘干槽包括加热单元和风机，所述碱洗槽、水洗槽和烘干槽并排设置，所述排风装置设置在所述碱洗槽上方，所述排风装置包括设置在碱洗槽顶部的抽风罩、设置在碱洗槽两侧的排气道、与抽风罩和排气道连通的风管，所述排气道内侧均匀分布有排气孔，所述行车机构横向设置在碱洗槽、水洗槽和烘干槽上方，所述行车机构由导轨、安装导轨上的移动架和驱动电机组成，所述载板花篮装置安装在移动架上，所述载板花篮装置由升降电机和挂在升降电机下的花篮组成。

2.根据权利要求1所述一种PECVD载板清洗机，其特征在于：所述碱洗槽和水洗槽内装配有侧振式超声波装置。

3.根据权利要求1所述一种PECVD载板清洗机，其特征在于：所述碱洗槽和水洗槽底部装配有鼓泡装置。

4.根据权利要求1所述一种PECVD载板清洗机，其特征在于：所述碱洗槽和水洗槽内装配有加热装置。

5.根据权利要求1所述一种PECVD载板清洗机，其特征在于：所述碱洗槽的侧壁上端设有进水口和进碱口，底端设有排碱口，所述进碱口的高度低于所述进水口，所述水洗槽的侧壁上端设有进水口和溢流口，底端设有排水口。

6.根据权利要求1所述一种PECVD载板清洗机，其特征在于：所述补液槽内装配有搅拌装置和加热装置，底端设有出碱口，所述补液槽的出碱口和碱洗槽的进碱口通过管路连接，所述管路为不锈钢管。

7.根据权利要求1所述一种PECVD载板清洗机，其特征在于：所述花篮内设有载板安装卡槽，所述卡槽呈倾斜角。