[实用新型]一种PVD载板粉尘清洁装置

说明书

本实用新型公开了一种PVD载板粉尘清洁装置，包括机架、吸风罩、滚刷组件，所述机架两侧分别设有一个调整块，在调整块一端连接滚刷组件，所述吸风罩内设置有滚刷腔、吸尘口，滚刷腔与吸尘口连通，所述滚刷组件能够转动地设置在滚刷腔内，在电机的驱动下对载板进行清扫，所述滚刷组件包括辊筒体和毛刷条。本实用新型实现了PVD载板粉尘的自动、实时清洁，大大降低了载板与传动轮发生摩擦产生掉粉的现象，提高硅片镀膜质量。

技术领域

本实用新型涉及太阳能光伏硅片技术领域，尤其涉及一种PVD载板粉尘清洁装置。

背景技术

在制备高效异质结太阳能电池时，PVD(Physical Vapor Deposition，物理气相沉积)工序是非常关键的步骤之一。经过化学气相沉积的硅片放置在载板上，进入真空腔室进行物理气相沉积的过程中，载板作为硅片承载托盘。载板的主要作用是将硅片传送至溅射腔室，通过溅射系统在硅片表面镀上一层薄膜，同时载板的其余地方也会镀上一层薄膜。载板使用次数越多，镀上的膜层就越厚。在现有PVD工序中，载板水平放置在镀膜装置上并水平移动。而载板传输方式是通过传动滚轮传送载板，即载板放在传动滚轮上，靠载板与传动滚轮之间产生摩擦，从而实现载板的传输。载板会与传动轮发生摩擦从而产生掉粉现象，直接影响到硅片镀膜质量。

目前现有的PVD载板粉尘清洁周期长，当达到一定厚度时，才对载板进行清洁保养，不能满足载板粉尘清洁要求。

实用新型内容

针对上述问题，本实用新型提供了一种实现PVD载板粉尘的自动、实时清洁的PVD载板粉尘清洁装置。

为解决上述技术问题，本实用新型所采用的技术方案是：一种PVD载板粉尘清洁装置，包括机架、吸风罩、滚刷组件，所述机架两侧分别设有一个调整块，在调整块一端均连接滚刷组件，所述吸风罩内设置有滚刷腔、吸尘口，滚刷腔与吸尘口连通，所述滚刷组件能够转动地设置在滚刷腔内，在电机的驱动下对载板进行清扫，所述滚刷组件包括辊筒体和毛刷条。

进一步的，所述吸风罩设置在滚刷组件下方。

进一步的，所述滚刷腔朝向所述滚刷组件，所述吸尘口设置于所述滚刷腔的一端，所述吸尘口通过管道与吸尘器连接。

进一步的，所述毛刷条绕所述的辊筒体表面布置，所述毛刷条由由尼龙、涤纶、聚丙烯构成。

由上述对本实用新型结构的描述可知，和现有技术相比，本实用新型具有如下优点：

本实用新型实现了PVD载板粉尘的自动、实时清洁，大大降低了载板与传动轮发生摩擦产生掉粉的现象，提高硅片镀膜质量。

附图说明

构成本申请的一部分的附图用来提供对本实用新型的进一步理解，本实用新型的示意性实施例及其说明用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的不当限定。在附图中：

图1为本实用新型一种PVD载板粉尘清洁装置的结构示意图；

图2为本实用新型一种PVD载板粉尘清洁装置的滚刷组件结构图。

具体实施方式

为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。

实施例

参考图1、图2，一种PVD载板粉尘清洁装置，包括机架1、吸风罩2、滚刷组件3，所述机架1两侧分别设有一个调整块4，在调整块4一端均连接滚刷组件3，所述吸风罩2内设置有滚刷腔5、吸尘口6，滚刷腔5与吸尘口6连通，所述滚刷组件3能够转动地设置在滚刷腔6内，在电机的驱动下对载板进行清扫，滚刷组件5包括辊筒体7和毛刷条8，所述毛刷条8 绕所述的辊筒体7表面布置，所述毛刷条8由由尼龙、涤纶、聚丙烯构成。