[实用新型]可调式谐振器

权利要求书

1.一种可调式谐振器，其特征是，包括：

谐振腔，在衬底中，至少包括中心的第一谐振腔和外围的第二谐振腔；

第一堆叠结构，在所述第一谐振腔上，依次包括下电极第一部分、压电层第一部分和上电极第一部分；

第二堆叠结构，在所述第二谐振腔上，依次包括下电极第二部分、压电层第二部分和上电极第二部分；

第一绝缘层，在衬底上，位于下电极第一部分和下电极第二部分之间。

2.根据权利要求1所述的可调式谐振器，其特征是，进一步包括第二绝缘层，在压电层第一部分和压电层第二部分上，位于上电极第一部分和上电极第二部分之间。

3.根据权利要求2所述的可调式谐振器，其特征是，所述压电层第一部分和压电层第二部分连接，或者由第二绝缘层间隔开。

4.根据权利要求1所述的可调式谐振器，其特征是，所述第一谐振腔、下电极第一部分、上电极第一部分在平视图中为多边形、圆形或椭圆形。

5.根据权利要求1所述的可调式谐振器，其特征是，所述第一谐振腔顶部尺寸大于下电极第一部分或上电极第一部分的尺寸，第二谐振腔顶部尺寸大于下电极第二部分或上电极第二部分的尺寸。

6.根据权利要求1所述的可调式谐振器，其特征是，所述下电极第一部分和上电极第一部分边缘对齐，下电极第二部分和上电极第二部分边缘对齐。

7.根据权利要求1所述的可调式谐振器，其特征是，第二堆叠结构被施加与第一堆叠结构不同的信号以调节可调式谐振器的谐振状态，所述谐振状态包括振幅、频率、相位的至少一个或其组合。