[实用新型]S型半切膜设备

说明书

本实用新型公开了S型半切膜设备，包括固定架：所述固定架的竖直端设置有平行分布的底膜放卷辊、废料收卷辊、蓝膜放卷辊和压合辊，所述切膜架的外壁设置有电机，且电机的输出端联接有延伸至切膜架内的S切刀辊，所述固定架的竖直端设置有成品收卷辊，所述固定架的竖直端设置有驱动组件，且驱动组件上设置有张力配重辊，并驱动张力配重辊竖直升降移动。本实用新型中，该半切膜设备采用可升降移动调节结构的张力配重辊，可以根据实际成品膜收卷的张力大小，自由的检测并调节张力配重辊的高低位置，从而改变张力配重辊对成品膜的挤压力大小，实现成品膜的张力浮动调节效果，确保成品膜的张力处于稳定状态，便于成品膜的收卷操作。

技术领域

本实用新型涉及蓝膜加工技术领域，尤其涉及S型半切膜设备。

背景技术

蓝膜是半导体晶圆厂做晶圆切割或基板切割、背面研磨、减薄制程中所使用保护表面回路的保护膜，PVC材质，可在无尘室内使用，是晶圆加工过程中所用到的特殊胶带，其至少包括一基材膜及一黏着剂层，该基材膜为聚合物薄膜，而在蓝膜的加工当中，需要将蓝膜复合在底膜上，并对其进行半切处理，以获得符合需求的成品膜。

然而现有的切膜设备在半切蓝膜之后，对于半切后的蓝膜没有配置浮动的配重辊，使得成品膜在运动过程中张力控制不够均衡，导致产品容易发破裂的现象，降低了成品膜的收卷效率。

实用新型内容

本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出采用可升降移动的张力配重辊，灵活调节成品膜收卷张力的S型半切膜设备。

为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：S型半切膜设备，包括固定架：

所述固定架的竖直端设置有平行分布的底膜放卷辊、废料收卷辊、蓝膜放卷辊和压合辊；

所述固定架的水平端设置有切膜架，所述切膜架的外壁设置有电机，且电机的输出端联接有延伸至切膜架内的S切刀辊；

所述固定架的竖直端设置有成品收卷辊，所述固定架的竖直端设置有一驱动组件，且驱动组件上设置有张力配重辊，并驱动张力配重辊竖直升降移动。

作为上述技术方案的进一步描述：

所述驱动组件包括一设置在固定架竖直端的位移传感器，位移传感器的输出端通过转轴与传动板的中端连接，且传动板的一端通过转轴与固定架连接，另一端与张力配重辊连接。

作为上述技术方案的进一步描述：

所述固定架的竖直端且位于张力配重辊的上方设置有两个张力固定辊，且两个张力固定辊分别位于张力配重辊的两侧。

作为上述技术方案的进一步描述：

所述固定架的竖直端设置有分膜辊，且分膜辊由两个平行的压辊组成。

作为上述技术方案的进一步描述：

所述固定架的竖直端设置有底膜导向辊，且底膜导向辊上设置有防脱环，且防脱环通过螺纹贯穿的紧固销与底膜导向辊连接。

作为上述技术方案的进一步描述：

所述切膜架的两侧竖直端内壁对称设置有若干个滑辊，且滑辊上滚动连接有收集盒。

作为上述技术方案的进一步描述：

所述切膜架的内壁设置有上压辊，且上压辊位于S切刀辊的上方。

本实用新型提供了S型半切膜设备。具备以下有益效果：

该半切膜设备采用可升降移动调节结构的张力配重辊，可以根据实际成品膜收卷的张力大小，自由的检测并调节张力配重辊的高低位置，从而改变张力配重辊对成品膜的挤压力大小，实现成品膜的张力浮动调节效果，确保成品膜的张力处于稳定状态，便于成品膜的收卷操作。

附图说明