[实用新型]一种带主次凹槽的多层抛光垫

说明书

本实用新型属于抛光垫技术领域，且公开了一种带主次凹槽的多层抛光垫，包括亲水聚酰胺层、热塑性聚氨酯层和聚氯乙烯层，所述热塑性聚氨酯层位于亲水聚酰胺层与聚氯乙烯层之间的位置处，所述亲水聚酰胺层远离热塑性聚氨酯层的一侧开设有凹槽，所述凹槽包括主凹槽和次凹槽，且凹槽与次凹槽相互连通，所述亲水聚酰胺层与热塑性聚氨酯层之间连接有防水层，本实用新型通过防水层可防止大部分抛光液渗入热塑性聚氨酯层内，同时通过第一滤布与高分子树脂吸水层的配合，可进一步的将渗入的抛光液吸收，从而防止了抛光液渗入热塑性聚氨酯层与聚氯乙烯层内，防水保护效果较好，提高了抛光效果和装置的使用寿命。

技术领域

本实用新型属于抛光垫技术领域，具体涉及一种带主次凹槽的多层抛光垫。

背景技术

抛光垫又称抛光皮，抛光布，抛光片，化学机械抛光中决定表面质量的重要辅料，按是否含有磨料可以分为有磨料抛光垫和无磨料抛光垫，按材质的不同可以分为聚氨酯抛光垫、无纺布抛光垫和复合型抛光垫，按表面结构的不同大致可分为平面型、网格型和螺旋线型。

在专利号为CN201820190589.X的中国专利中，公开了一种带主次凹槽的多层抛光垫，该装置通过设置不同深度且彼此勾通的主次凹槽，可储存抛光液，从而使抛光后的晶片获得高度的平整度和光滑度，但该装置在实际使用时仍存在较多的缺陷，例如，未设置防渗透的结构，导致抛光液容易渗入热塑性聚氨酯层和聚氯乙烯层，不仅影响抛光效果，且影响装置的使用寿命，另外，抛光垫的弹性性能较差，抛光处理过程中基垫容易发生变形，且容易造成热塑性聚氨酯层和聚氯乙烯层分离，影响稳定性。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种带主次凹槽的多层抛光垫，以解决上述背景技术中提出的未设置防渗透的结构，以及抛光垫的弹性性能较差的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种带主次凹槽的多层抛光垫，包括亲水聚酰胺层、热塑性聚氨酯层和聚氯乙烯层，所述热塑性聚氨酯层位于亲水聚酰胺层与聚氯乙烯层之间的位置处，所述亲水聚酰胺层远离热塑性聚氨酯层的一侧开设有凹槽，所述凹槽包括主凹槽和次凹槽，且主凹槽与次凹槽相互连通，所述亲水聚酰胺层与热塑性聚氨酯层之间连接有防水层，所述防水层远离亲水聚酰胺层的一侧固定有第一滤布，所述第一滤布远离防水层的一侧连接有高分子树脂吸水层，所述高分子树脂吸水层远离第一滤布的一侧安装有第二滤布。

优选的，所述热塑性聚氨酯层远离聚氯乙烯层的一侧安装有加强层，所述加强层远离热塑性聚氨酯层的一侧与第二滤布相连接，所述聚氯乙烯层靠近热塑性聚氨酯层的一侧固定有第二限位块，且聚氯乙烯层的侧壁位于两个第二限位块之间的位置处开设有第一限位槽，所述热塑性聚氨酯层靠近聚氯乙烯层的一侧固定有与第一限位槽相匹配的第一限位块，且热塑性聚氨酯层的侧壁开设有与第二限位块相匹配的第二限位槽。

优选的，所述主凹槽的深度大于次凹槽的深度，且相邻两个主凹槽之间的间距为2-5mm。

优选的，所述第一限位块与第二限位块均呈突起的梯形结构，且第一限位块与第二限位块相间分布。

优选的，所述聚氯乙烯层的底部连接有背胶层，且背胶层的底部圆滑。

优选的，所所述聚氯乙烯层的厚度为0.5-1.2mm，所述热塑性聚氨酯层的厚度为0.1-0.5mm。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

（1）本实用新型通过防水层可防止大部分抛光液渗入热塑性聚氨酯层内，同时通过第一滤布与高分子树脂吸水层的配合，可进一步的将渗入的抛光液吸收，从而防止了抛光液渗入热塑性聚氨酯层与聚氯乙烯层内，防水保护效果较好，提高了抛光效果和装置的使用寿命。

（2）本实用新型通过第二限位槽、第二限位块、第一限位块与第一限位槽的配合，可使热塑性聚氨酯层与聚氯乙烯层更加紧密的贴合在一起，防止了热塑性聚氨酯层与聚氯乙烯层发生分离，提高了结构的稳定性，同时通过加强层可提高抛光垫的弹性性能，防止了抛光垫抛光时变形损坏。