[实用新型]一种新式真空计防尘管路

说明书

本实用新型涉及真空计保护设备设备领域，尤其涉及一种新式真空计防尘管路，包括：真空计、真空腔体、法兰中心圈、通管、法兰卡箍和法兰盲板；所述通管为T型通管，所述真空腔体连接通管的T型部分，所述真空计设置在通管的直通部分的上端；所述法兰卡箍设置在通管的接口处；所述通管的接口处设置有法兰中心圈；所述法兰中心圈的外侧设置法兰盲板；采用本实用新型，真空腔体中的气体中，混杂多种杂质，当空气经过横管，较小的灰尘颗粒会因空气的动力，附着竖通管与横管连接处，较大颗粒则会因撞击后，消耗动能，再因重力，落入竖通管的下半段，从而双重效果的降低灰尘以及溅镀沉积物粘附在真空计的电极头上。

技术领域

本实用新型涉及真空计保护设备设备领域，尤其涉及一种新式真空计防尘管路。

背景技术

真空计内用来量测压力的电极属于高精密结构设计，在镀膜过程中常常会受到外来污染物的沾附(外来空气中的粉尘或镀膜过程中的沉积吸附)，电极长时间受到污染，就可能使真空计出现量测压力值飘移或失真甚至电极烧断等问题。

当真空计出现异常时，就必须安排时间破真空拆下进行清洁/保养甚至更换，适时的延长真空计寿命，有助于维持真空溅镀线的制程稳定性及降低零件更换成本。

常见应用于真空计防污手段是以一个密封圈内崁上金属网作简易的防尘遮蔽。市面上有二款类型的金属滤网在售。一为輆粗的金属网，孔径大约在1mm左右，另一为绕结型的金属滤片，孔径极细只有20um。

金属网型只能拦阻较大颗粒的粉尘，对于镀膜过程中的微细材料飘浮沉积，并没有太大的遮挡效果。

极细的金属网有很好的过滤效果，但也由于孔洞过小，安装位置不正确使其长时间接触较脏空气的环境下，很容易就造成堵塞失效。

实用新型内容

本实用新型目的是在于提供一种结构优化、改造成本低，防尘效果装置。

一种新式真空计防尘管路，包括：真空计、真空腔体、法兰中心圈、通管、法兰卡箍和法兰盲板；

所述通管为T型通管，所述真空腔体连接通管的T型部分，所述真空计设置在通管的直通部分的上端；所述法兰卡箍设置在通管的接口处；

所述通管的接口处设置有法兰中心圈；所述法兰中心圈的外侧设置法兰盲板。

进一步的，所述通管为T型三通管路，包括横管和竖通管；所述横管一端连接真空腔体，另一端通向竖通管，所述真空计设置在竖通管的顶端，所述竖通管的下端封结。

进一步的，所述真空计、通管和真空腔体的连接的法兰均采用快接式设计；便于更换管路进行维护与检修。

进一步的，所述竖通管的下端设置集尘板。

本实用新型的有益效果是：

本实用新型具体实施过程中，真空计用来测量真空腔体中的真空度，在真空溅镀镀膜过程中的真空腔体中含有部分沉积吸附，也包括去真空时外来空气中的粉尘，T型的管路，为三通设计，其中横管连接真空腔体，空气从真空腔体进入横管，再上拐至竖通管；真空计的测量口顺竖通管朝下安装。

采用本实用新型，真空腔体中的气体中，混杂多种杂质，当空气经过横管，较小的灰尘颗粒会因空气的动力，附着竖通管与横管连接处，较大颗粒则会因撞击后，消耗动能，再因重力，落入竖通管的下半段，从而双重效果的降低灰尘以及溅镀沉积物粘附在真空计的电极头上。

附图说明

图1是本实用新型的部分结构隐藏示意图；

图2是本实用新型的整体结构示意图；

附图标记：1-真空计、2-真空腔体、3-法兰中心圈、4-通管、41- 横管、42-竖通管、5-法兰卡箍、6-法兰盲板。

具体实施方式