[实用新型]一种撕膜装置

说明书

本实用新型属于半导体加工技术领域，特别是涉及一种撕膜装置，包括竖向驱动机构、导向机构、过渡安装板和切割机构；所述竖向驱动机构的输出端包括连续的第一段行程和第二段行程，导向机构包括导向件和滑动连接在导向件上的滑动件，在第一段行程时，导向机构和切割机构同步运动，滑动件与导向件保持相对静止；第二段行程时，切割机构保持不动，滑动件与导向件相对滑动，本实用新型中，竖向驱动机构的输出端的行程大于切割机构与工件的距离，多出的行程由导向机构消耗掉。竖向驱动机构的输出端带动切割机构的底部触碰到工件时，切割机构停止并保持不动，切割机构准确地达到撕膜切入口处，具有较高的撕膜切入口的准确性。

技术领域

本实用新型属于半导体加工技术领域，特别是涉及一种撕膜装置。

背景技术

目前，在半导体行业，晶圆产品在加工时通常会在晶圆背面贴覆一层薄膜用来与晶圆框架连接，其作用一是满足制程加工与工艺的需要(如切割)；二是保护晶圆在加工与传输时的安全。然而，晶圆整个前后段制程中也存在因为制程工艺或加工设备能力的原因，需要对贴覆薄膜的晶圆进行撕膜处理，采用裸晶圆上料加工。

针对晶圆撕膜需求,通常采用人工手动的方式来实现，增加了人力成本以及晶圆的周转时间，并打断了部分工艺制程内部的连续性。

对于非手工方式，目前通常采用以下两种机构进行撕膜：

1、利用特殊胶带通过粘性粘附晶圆薄膜后撕取薄膜，其弊端是：特殊胶带为耗材，存在耗材成本，而且粘性成功率稍低，存在脱落、多次粘附的风险。

2、利用气缸、自制夹头夹紧薄膜后撕取薄膜，此类夹紧方式可靠，同时安装有距离感应器测量薄膜位置，来确保撕膜切入口的准确性。其弊端是，由于采用感应器量测方式，感应器的精度与稳定性会影响切入口的准确性，调试及维护成本较高，且硬件成本上也会有所增加。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题是：针对现有的撕膜装置的切入口准确度不高的问题，提供一种适用于材质易碎不抗压的环形圆盘的环形加热装置。

为解决上述技术问题，本实用新型提供一种撕膜装置，包括竖向驱动机构、导向机构、过渡安装板和用于切割薄膜的切割机构；

所述过渡安装板安装在所述竖向驱动机构上，所述切割机构和所述导向机构安装在所述过渡安装板上，所述竖向驱动机构的输出端的运动行程包括连续的第一段行程和第二段行程；

所述导向机构包括导向件和滑动连接在所述导向件上的滑动件，所述导向件安装在所述切割机构上，所述滑动件安装在所述过渡安装板上；所述竖向驱动机构的输出端在第一段行程的范围内运动时，所述竖向驱动机构的输出端带动所述导向机构和所述切割机构同步运动，所述滑动件与导向件保持相对静止；

所述竖向驱动机构的输出端运动至第一段行程与第二段行程的相接位置时，所述切割机构与贴有薄膜的工件抵靠而保持不动，通过所述滑动件与所述导向件的相对滑动，使得所述竖向驱动机构的输出端继续朝着所述切割机构运动以完成第二段行程。

可选地，所述切割机构包括气缸固定板、上夹头、下夹头和第一气缸，所述气缸固定板安装在所述过渡安装板上，所述第一气缸和所述下夹头安装在所述气缸固定板上，所述下夹头上设置有用于切割薄膜的尖端，所述上夹头在所述第一气缸的驱动下与所述下夹头配合夹紧切割后的薄膜。

可选地，所述撕膜装置还包括水平驱动机构，在所述水平驱动机构的带动下所述切割机构对工件上的薄膜进行切割，以使得薄膜与工件分离。

可选地，所述导向机构还包括限位板，所述导向件的一端安装在所述切割机构上，所述导向件的另一端连接在所述限位板上，以使所述滑动件的滑动行程限制在所述限位板与所述切割机构之间。

可选地，所述导向机构还包括安装在所述过渡安装板上的滑动件安装板，所述滑动件安装板上设置有多个所述滑动件，每一所述滑动件上均对应连接在一个所述导向件上。