[实用新型]一种晶圆自动夹取双手臂机械手

说明书

本实用新型公开了一种晶圆自动夹取双手臂机械手，包括升降电机、升降主动轮、升降滑轨、旋转组件、第一旋转电机、移动组件、移动电机、连接主动轮、连接皮带、连接从动轮、晶圆手臂、底板、第一挡板、升降丝杆、L型座、安装板、限位滑轨、顶板、安装台、支撑块、移动板、第二挡板、转动轴、转环、第二旋转电机和安装盒，所述底板的顶端一侧中心两端分别与第一挡板的底端固定连接，所述第一挡板的一侧与第二挡板的一侧中心两端固定连接，该实用新型，结构简单，使用方便，利用安装的两个相互对应的晶圆手臂，有利于在对晶圆取放料的过程中进行交替夹取，提高了工作效率，同时利用安装的旋转组件和移动组件，扩大了该实用新型在对晶圆取料转运范围。

技术领域

本实用新型涉及四轴双手臂机械手机构技术领域，具体为一种晶圆自动夹取双手臂机械手。

背景技术

晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆；在硅晶片上可加工制作成各种电路元件结构，而成为有特定电性功能之IC产品，其中在制造生产的晶圆的过程中常需使用到检查机对晶圆进行检测，其中晶圆检查机中的夹取机构通过是对晶圆进行转运，但传统的夹取机构通常为单一的取料方式，该夹取方式降低了工作效率，同时在进行转运的过程中缩短了对晶圆的转运范围。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种晶圆自动夹取双手臂机械手，以解决上述背景技术中提出的问题。

为了解决上述技术问题，本实用新型提供如下技术方案：一种晶圆自动夹取双手臂机械手，包括升降电机、升降主动轮、升降滑轨、旋转组件、第一旋转电机、移动组件、移动电机、连接主动轮、连接皮带、连接从动轮、晶圆手臂、底板、第一挡板、升降丝杆、L型座、安装板、限位滑轨、顶板、安装台、支撑块、移动板、第二挡板、转动轴、转环、第二旋转电机和安装盒，所述底板的顶端一侧中心两端分别与第一挡板的底端固定连接，所述第一挡板的一侧与第二挡板的一侧中心两端固定连接，所述第二挡板的底端与底板的顶端一侧固定连接，所述第一挡板和第二挡板相互垂直，所述第一挡板的顶端分别与顶板的底端一侧中心两端固定连接，所述顶板的底端一侧与第二挡板的顶端固定连接，所述底板的顶端中心两侧分别与L型座的底端固定连接，所述L型座的顶端分别与安装板的底端两侧固定连接，所述安装板的顶端与升降电机的底端底端固定连接，所述升降电机的输出端贯穿安装板的中心处开设的通孔与升降主动轮的中心处套接固定连接，所述升降滑轨的一侧分别与第二挡板的一侧中心两端固定连接，所述第二挡板的另一侧中心两端分别与支撑块的一侧固定连接，所述支撑块的顶端分别与安装台的底端中心两侧固定连接，所述安装台的底端一侧与第二挡板的顶端固定连接，所述安装台的底端另一侧中心处通过连接块与第一旋转电机固定连接，所述安装台的顶端安装有保护罩，且保护罩的顶端与第二旋转电机的底端固定连接，所述第二旋转电机的输出端固定连接的齿轮与第一旋转电机的输出端固定连接的齿轮相互配合连接，所述第二旋转电机输出端固定连接的齿轮与第一旋转电机的输出端固定连接的齿轮均位于由安装台和安装台的顶端安装的保护罩组成的内部空间中，所述第二旋转电机的顶端与转环的底端固定连接，所述转环的顶端四角分别与转动轴的底端固定连接，所述转动轴的顶端分别贯穿顶板的中心处开设的通孔与安装盒的底端中心四角固定连接，所述安装盒的顶端两侧分别与移动电机的底端固定连接，所述限位滑轨的底端分别与安装盒的顶端中心两侧固定连接。

进一步的，所述移动组件包括移动电机、连接主动轮、连接皮带、连接从动轮、晶圆手臂、限位滑轨和安装盒组成。

进一步的，所述旋转组件包括第一旋转电机、转动轴、转环和第二旋转电机组成。

进一步的，所述升降主动轮与升降丝杆的底端安装的升降从动轮上均绕接有升降皮带，所述升降丝杆的两端分别与第二挡板的一侧中心两端安装的固定座中心处套接固定的轴承内部套接固定连接，所述升降丝杆上安装有滚珠螺母，且该滚珠螺母与移动板的一侧中心处固定连接，所述移动板的一侧中心两端分别安装有滑块，且该滑块均位于升降滑轨上。