[实用新型]一种分子泵故障诊断预测系统

权利要求书

1.一种分子泵故障诊断预测系统，其特征在于，包括：

依次连接的故障模拟系统、真空腔体、真空抽气系统，分子泵诊断系统；所述故障模拟系统包括针阀，规管，VDE阀门及VDE阀门控制器；

所述真空抽气系统包括分子泵和前级机械泵，分子泵一端通过插板阀与真空腔体相连接，另一端通过波纹管与机械泵相连接；

所述分子泵诊断系统包括多状态监测传感器，数据采集设备，数据计算设备，故障诊断预测结果输出设备；所述多状态监测传感器，包括有振动传感器，温度传感器，电流传感器，分子泵转速传感器。

2.根据权利要求1所述的一种分子泵故障诊断预测系统，其特征在于：

所述规管测量真空腔体内真空度，并通过数据线缆，将实时测量的真空度数据传输给VDE阀门控制器，此数据作为VDE阀门反馈调节的依据，VDE阀门与其控制器通过线缆连接实现VDE阀门的开度控制，进而实现真空腔体内真空度闭环控制。

3.根据权利要求1所述的一种分子泵故障诊断预测系统，其特征在于：

所述针阀口径为6.35毫米，针阀前端与真空腔体相连，针阀后端与大气或者颗粒注入装置相连接；真空腔体下端装有转接工装，适用于不同口径型号的分子泵测试。

4.根据权利要求1所述的一种分子泵故障诊断预测系统，其特征在于：

所述多状态监测传感器，数据采集设备，数据计算设备，故障诊断与预测结果输出设备的物理连接采用逐级串联方式。

5.根据权利要求1所述的一种分子泵故障诊断预测系统，其特征在于：

还包括光源，所述光源为多档可调的强光手电筒或者固定光源，通过调节光源强度和射入角度，实验人员通过玻璃观察窗能够观测到故障过程中分子泵叶片状态。

6.根据权利要求1所述的一种分子泵故障诊断预测系统，其特征在于：

其中振动传感器通过磁座固定于分子泵泵壳外，温度传感器，电流传感器，分子泵转速传感器内嵌于分子泵泵体内部，通过分子泵控制器获取其数据。

7.根据权利要求1所述的一种分子泵故障诊断预测系统，其特征在于：

所述真空腔体采用316L不锈钢，为圆柱形并采用刀口密封方式；在真空腔体的上端开有2个CF16的法兰接口和2个CF35的法兰接口，其中2个CF16的法兰用来安装针阀和VDE阀门，2个CF35的法兰用来安装规管和观察窗。