[实用新型]一种可拆分式新型钽坩埚有效

专利信息
申请号: 202021502671.5 申请日: 2020-07-27
公开(公告)号: CN212669853U 公开(公告)日: 2021-03-09
发明(设计)人: 不公告发明人 申请(专利权)人: 哈尔滨科友半导体产业装备与技术研究院有限公司
主分类号: C30B23/00 分类号: C30B23/00;C30B29/40
代理公司: 哈尔滨市伟晨专利代理事务所(普通合伙) 23209 代理人: 曹徐婷
地址: 150000 黑龙江省哈尔滨市南岗区*** 国省代码: 黑龙江;23
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摘要:
搜索关键词: 一种 拆分 新型 坩埚
【权利要求书】:

1.一种可拆分式新型钽坩埚,其特征在于:包括坩埚盖(1)、坩埚底(2)和多个坩埚侧壁拼接片(3),坩埚侧壁拼接片(3)的上下两端分别与坩埚盖(1)和坩埚底(2)连接,坩埚侧壁拼接片(3)依次连接形成一个圆筒,石墨纸(17)为圆柱形,石墨纸(17)包裹在坩埚侧壁拼接片(3)拼接而成的圆筒外侧。

2.根据权利要求1所述的一种可拆分式新型钽坩埚,其特征在于:所述坩埚盖(1)为圆形板,坩埚盖(1)上加工有第一同轴心圆形槽(1.1),坩埚底(2)为圆形板,坩埚底(2)上加工有第二同轴心圆形槽(2.1);所述坩埚侧壁拼接片(3)包括外拼接片(3.1)和内拼接片(3.2),外拼接片(3.1)与内拼接片(3.2)固定连接,内拼接片(3.2)的高度大于外拼接片(3.1)的高度,内拼接片(3.2)上下两端分别插接在第一同轴心圆形槽(1.1)和第二同轴心圆形槽(2.1)内,外拼接片(3.1)的两端分别与坩埚盖(1)和坩埚底(2)的表面接触。

3.根据权利要求2所述的一种可拆分式新型钽坩埚,其特征在于:所述内拼接片(3.2)的厚度分别与第一同轴心圆形槽(1.1)的宽度和第二同轴心圆形槽(2.1)的宽度相等,外拼接片(3.1)的厚度与第一同轴心圆形槽(1.1)外侧壁厚、以及第二同轴心圆形槽(2.1)外侧壁厚相等。

4.根据权利要求1-3任一所述的一种可拆分式新型钽坩埚,其特征在于:所述坩埚侧壁拼接片(3)的数量为十二个。

5.根据权利要求4所述的一种可拆分式新型钽坩埚,其特征在于:所述坩埚盖(1)、坩埚底(2)和坩埚侧壁拼接片(3)均放置在石墨筒(15)内,石墨筒(15)的上部具有开口,石墨盖(16)与石墨筒(15)螺纹连接并将石墨筒(15)密封。

6.根据权利要求5所述的一种可拆分式新型钽坩埚,其特征在于:坩埚盖(1)的上面和坩埚底(2)的下面分别放置有石墨纸圆片(18)。

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