[实用新型]一种可拆分式新型钽坩埚有效
申请号: | 202021502671.5 | 申请日: | 2020-07-27 |
公开(公告)号: | CN212669853U | 公开(公告)日: | 2021-03-09 |
发明(设计)人: | 不公告发明人 | 申请(专利权)人: | 哈尔滨科友半导体产业装备与技术研究院有限公司 |
主分类号: | C30B23/00 | 分类号: | C30B23/00;C30B29/40 |
代理公司: | 哈尔滨市伟晨专利代理事务所(普通合伙) 23209 | 代理人: | 曹徐婷 |
地址: | 150000 黑龙江省哈尔滨市南岗区*** | 国省代码: | 黑龙江;23 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 拆分 新型 坩埚 | ||
1.一种可拆分式新型钽坩埚,其特征在于:包括坩埚盖(1)、坩埚底(2)和多个坩埚侧壁拼接片(3),坩埚侧壁拼接片(3)的上下两端分别与坩埚盖(1)和坩埚底(2)连接,坩埚侧壁拼接片(3)依次连接形成一个圆筒,石墨纸(17)为圆柱形,石墨纸(17)包裹在坩埚侧壁拼接片(3)拼接而成的圆筒外侧。
2.根据权利要求1所述的一种可拆分式新型钽坩埚,其特征在于:所述坩埚盖(1)为圆形板,坩埚盖(1)上加工有第一同轴心圆形槽(1.1),坩埚底(2)为圆形板,坩埚底(2)上加工有第二同轴心圆形槽(2.1);所述坩埚侧壁拼接片(3)包括外拼接片(3.1)和内拼接片(3.2),外拼接片(3.1)与内拼接片(3.2)固定连接,内拼接片(3.2)的高度大于外拼接片(3.1)的高度,内拼接片(3.2)上下两端分别插接在第一同轴心圆形槽(1.1)和第二同轴心圆形槽(2.1)内,外拼接片(3.1)的两端分别与坩埚盖(1)和坩埚底(2)的表面接触。
3.根据权利要求2所述的一种可拆分式新型钽坩埚,其特征在于:所述内拼接片(3.2)的厚度分别与第一同轴心圆形槽(1.1)的宽度和第二同轴心圆形槽(2.1)的宽度相等,外拼接片(3.1)的厚度与第一同轴心圆形槽(1.1)外侧壁厚、以及第二同轴心圆形槽(2.1)外侧壁厚相等。
4.根据权利要求1-3任一所述的一种可拆分式新型钽坩埚,其特征在于:所述坩埚侧壁拼接片(3)的数量为十二个。
5.根据权利要求4所述的一种可拆分式新型钽坩埚,其特征在于:所述坩埚盖(1)、坩埚底(2)和坩埚侧壁拼接片(3)均放置在石墨筒(15)内,石墨筒(15)的上部具有开口,石墨盖(16)与石墨筒(15)螺纹连接并将石墨筒(15)密封。
6.根据权利要求5所述的一种可拆分式新型钽坩埚,其特征在于:坩埚盖(1)的上面和坩埚底(2)的下面分别放置有石墨纸圆片(18)。
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