[实用新型]防溢尘装置有效
| 申请号： | 202021503190.6 | 申请日： | 2020-07-27 |
| 公开（公告）号： | CN213134419U | 公开（公告）日： | 2021-05-07 |
| 发明（设计）人： | 张招洋;朱光瑞;路鑫 | 申请（专利权）人： | 邢台晶龙电子材料有限公司 |
| 主分类号： | B08B15/02 | 分类号： | B08B15/02 |
| 代理公司： | 上海华诚知识产权代理有限公司 31300 | 代理人： | 徐颖聪 |
| 地址： | 054000 河*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 防溢尘 装置 | ||
1.一种防溢尘装置，用于单晶炉真空管道清理，其特征在于，包括：
接尘槽，所述接尘槽的一侧为开口设置；
防尘罩，所述防尘罩位于所述接尘槽的上方，所述防尘罩与所述接尘槽围设形成有防尘空间，所述防尘罩远离所述接尘槽的开口设置的一侧形成有操作孔；
抽气管道，所述抽气管道设置于所述防尘罩上，且所述抽气管道与所述防尘空间相连通。
2.根据权利要求1所述的防溢尘装置，其特征在于，
所述防尘罩位于所述接尘槽的开口设置的一侧形成为开口，且所述防尘罩的形成为开口的一侧设置有挡板，所述挡板的底端与所述接尘槽的底面之间具有预定距离。
3.根据权利要求1所述的防溢尘装置，其特征在于，
所述防溢尘装置还包括支撑机构，所述支撑机构位于所述接尘槽的底端。
4.根据权利要求3所述的防溢尘装置，其特征在于，
所述支撑机构位于所述接尘槽的远离其开口设置的一侧的底端。
5.根据权利要求4所述的防溢尘装置，其特征在于，
所述支撑机构包括位于所述接尘槽的相对的两侧的两个立柱。
6.根据权利要求1所述的防溢尘装置，其特征在于，
所述接尘槽的截面为矩形。
7.根据权利要求6所述的防溢尘装置，其特征在于，
所述防尘罩的截面为拱形。
8.根据权利要求7所述的防溢尘装置，其特征在于，
所述抽气管道设置于所述防尘罩的顶端。
9.根据权利要求1所述的防溢尘装置，其特征在于，
所述操作孔形成为圆形。
10.根据权利要求1所述的防溢尘装置，其特征在于，
所述防尘罩的形成有操作孔的一侧为透明材料制件。
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