[实用新型]卷式湿制程生产设备的张力传输装置

说明书

本实用新型提供一种卷式湿制程生产设备的张力传输装置，张力传输装置包括传输件组、工作件组以及张力产生器。可挠基材跨接于传输件组的传输卷放件与工作件组的第二工作件之间，以及工作件组的第一工作件与第二工作件之间是高度错位设置及距离错位设置，据以形成倾斜段的湿制程区域，让可挠基材表面进行化学湿制程过程中更加均匀化。同时在传输过程中，可挠基材表面于绕行传输件组及工作件组的局部区域形成弯曲段，由张力产生器所产生的高压气体喷出至弯曲段，让可挠基材的弯曲段邻近但不接触传输件组以及工作件组而产生浮力与张力。

技术领域

本实用新型涉及一种张力传输装置，尤指应用于卷式湿制程生产设备中的气浮或液浮张力传输装置。

背景技术

平面、硬式的电子产品在携带上较不便利，为了让电子产品更容易携带，并更服贴在任何应用环境中，所以软性电子技术乃孕育而生。目前技术主流是使用可挠基板，如电路板或是玻璃厚度降至某一程度时可予以弯曲，形成具有可弯曲及高硬度特性的可挠基板。现有技术的可挠基材大多运用卷对卷(roll-to-roll)方式进行传送。虽然可挠基板在超薄厚度下，已具备相当程度的挠曲能力，但仍会保有材质上的硬脆(brittle)性质，任何不稳定的输送力量或对可挠基材的拖拉及扭力都可能造成破裂风险。

而连续式卷对卷传输制程，可挠基板以辊轮进行传输，并在收放卷过程中加入制作各种软性电子所需的制程。以化学湿制程中，可挠基板一般系使用介电质薄膜表面积层有铜箔的覆铜积层体，于覆铜积层体的铜箔上凭借网版印刷或感光性粘着薄膜的烧粘及显影形成欲制得的电路图案，并以此作为抗蚀层来蚀刻铜箔。也就是使用蚀刻液对铜箔蚀刻，由于感光层保护的铜箔会被蚀刻，因此可将铜箔层蚀刻成与光罩相同的图案。但目前的连续式卷对卷传输制程在蚀刻的湿制程中，因可挠基板为水平方式连续传送，使得蚀刻液分布在可挠基板上不均匀，产生铜箔蚀刻不均匀现象，进而造成制程上的不合格率。此外，可挠基板的在输送过程必须经过许多传输轮来输送及转向，通常会交互夹绕于这些传输轮之间，因此可挠基板的上下表面会与这些传输轮互相接触，而使可挠基板的上下表面承受正向及反向的作用力，此种现象可能导致可挠基板发生皱折，甚至破裂。为此，如何解决上述现有技术的问题与缺失，即为相关业者所亟欲研发的课题所在。

实用新型内容

本实用新型的主要目的乃在于，于化学湿制程中，利用气浮或液浮传输组的传输件配置方式，让可挠基材在传输过程中形成复数个连续倾斜段及弯曲段，使蚀刻液得以均匀分布于可挠基材表面，以及让可挠基材在传输过程中不会接触传输的气浮或液浮传输组，不仅可避免表面积接触所产生的不合格率问题，进而在传输过程中可以产生气浮张力或液浮张力的功效。

为达上述目的，本实用新型提供一种卷式湿制程生产设备的张力传输装置，该卷式湿制程生产设备包括卷放机、卷收机以及张力传输装置，该张力传输装置设置于该卷放机与该卷收机之间，使卷绕于该卷放机的可挠基材经由该张力传输装置后再由该卷收机卷收，其特征在于：

该张力传输装置包括传输件组、工作件组以及张力产生器，该传输件组包括传输卷放件以及传输卷收件，该工作件组包括水平间隔设置的复数个第一工作件与水平间隔设置的复数个第二工作件，复数个第一工作件水平设置于该传输卷放件与该传输卷收件之间，而该传输卷放件与邻近该传输卷放件的该第二工作件之间、复数个第一工作件与复数个第二工作件之间，以及该传输卷收件与邻近该传输卷收件的该第二工作件之间都为高度错位设置及距离错位设置，该可挠基材经由该卷放机卷放后，依序绕经该传输卷放件、该第一工作件、该第二工作件以及该传输卷收件后至该卷收机卷收，让该可挠基材跨接于该传输卷放件与该第一工作件之间、每一该第一工作件与每一该第二工作件之间、以及邻近该传输卷收件的该第二工作件与该传输卷收件之间，而形成倾斜段的湿制程区域，该张力产生器位于该传输件组及该工作件组的局部区域，该可挠基材表面于绕行该传输件组及该工作件组的该局部区域形成弯曲段，由该张力产生器所产生的高压气体朝向该弯曲段喷出，让该可挠基材的该弯曲段邻近但不接触该传输件组以及该工作件组而产生张力。