[实用新型]一种搅拌蒸发源

说明书

本实用新型公布一种搅拌蒸发源，包括蒸发源本体和坩埚；所述坩埚设置在所述蒸发源本体内，所述坩埚包括腔体，所述腔体用于作为蒸镀材料的蒸发场所；还包括搅拌装置和驱动单元；所述搅拌装置包括中心轴、横杆、连接杆和搅拌头，所述中心轴的一端连接在所述腔体上，所述中心轴的另一端连接所述横杆，所述横杆上连接有所述连接杆的一端，所述连接杆的另一端连接有所述搅拌头；所述驱动单元设置在所述腔体上，用于驱动搅拌装置转动来搅拌蒸镀材料。上述技术方案在坩埚的腔体中设置有驱动单元与搅拌装置，驱动单元带动搅拌装置进行转动来充分地搅拌蒸镀材料，使蒸镀材料均匀受热，可以避免蒸镀材料的局部发生结块的机率，提高镀率的稳定性，提高成膜质量。

技术领域

本实用新型涉及蒸镀设备领域，尤其涉及一种搅拌蒸发源。

背景技术

有机电致发光技术(Organic Light Emitting Diode,简称OLED)是当今显示技术领域中非常具有发展前景的一种技术。蒸镀技术是OLED中的一道关键制程，其工作原理是在真空系统中，对装填有熔融型或升华型蒸镀材料的蒸发源进行加热，使其气化或升华，通过顶上的掩膜板的镂空区域后沉积在基板上，最终形成显示器件所需要的RGB膜层，实现单彩或全彩显示。

蒸发源内放置有线性坩埚或点源坩埚，坩埚内装填有蒸镀材料，随着蒸镀材料的不断气化或升华而逸出，坩埚内的蒸镀材料逐渐减少。蒸镀材料与基板间的平均自由程路径变长，导致蒸镀的镀率不稳定，影响成膜质量。

由于某些蒸镀材料本身的性质关系，及蒸镀材料与基板之间的空间变大等原因，让蒸镀材料受热不均匀，造成蒸镀材料的局部结块，影响蒸镀的速率与膜层的均匀性。且气体分子容易在出气的位置凝结而堵塞通孔(出气孔)，导致镀率下降。

实用新型内容

为此，需要提供一种搅拌蒸发源，解决坩埚在蒸镀时，蒸镀材料受热不均匀的问题。

为实现上述目的，本实施例提供了一种搅拌蒸发源，包括蒸发源本体和坩埚；

所述坩埚设置在所述蒸发源本体内，所述坩埚包括腔体，所述腔体用于作为蒸镀材料的蒸发场所；

其特征在于，还包括搅拌装置和驱动单元；

所述搅拌装置包括中心轴、横杆、连接杆和搅拌头，所述中心轴的一端连接在所述腔体上，所述中心轴的另一端连接所述横杆，所述横杆上连接有所述连接杆的一端，所述连接杆的另一端连接有所述搅拌头；

所述驱动单元设置在所述腔体上，用于驱动搅拌装置转动来搅拌蒸镀材料。

进一步地，所述搅拌头为磁性搅拌头，所述磁性搅拌头具有磁性，所述连接杆可转动地连接在所述横杆上；

所述驱动单元包括磁性物，所述驱动单元连接在所述腔体上，所述磁性物用于带动磁性搅拌头和连接杆转动来搅拌蒸镀材料。

进一步地，所述驱动单元还包括基座和马达；

所述马达置于所述腔体的底部，所述马达的转轴连接有所述基座的底面，所述基座的上表面设置有所述磁性物。

进一步地，所述驱动单元包括电机；

所述电机的转轴与所述中心轴的一端连接，所述电机用于带动中心轴转动，从而带动横杆、连接杆和搅拌头转动来搅拌蒸镀材料。

进一步地，所述搅拌头包括旋转头和旋转头电机，所述旋转头电机的转轴连接所述旋转头。

进一步地，还包括加热线圈，所述加热线圈缠绕在所述横杆或者所述连接杆上。

进一步地，加热线圈产生交变磁场，所述横杆或者所述连接杆为导体。

进一步地，还包括通孔和防堵塞装置；

所述通孔设置在坩埚的顶部，所述通孔与所述腔体连通；