[实用新型]二维投影图像生成装置

权利要求书

1.一种二维投影图像生成装置，其特征在于，包括激光源、以第一轴为偏转轴的第一反射镜、以与所述第一轴正交的第二轴为偏转轴的第二反射镜、驱动所述第一反射镜绕第一轴谐振偏转的第一驱动机构和驱动所述第二反射镜绕第二轴谐振偏转的第二驱动机构，来自激光源的入射光由第一反射镜反射后的反射光再由第二反射镜反射作为出射光输出，其中：

所述第一反射镜和第二反射镜均由柔性印刷电路板工艺制成，具有支撑板和从支撑板的偏转轴延伸方向上的两侧沿偏转轴延伸出的两个悬臂以及形成于两个悬臂外端的两个安装板，所述支撑板的上表面设置一镜面，所述支撑板的下表面中心与偏转轴垂直的方向上的两侧对称设置第一永磁体和第二永磁体；

所述第一驱动机构和第二驱动机构均包括对应所述第一永磁体和第二永磁体分设于所述支撑板下方的与偏转轴垂直的方向上的两侧的第一电磁铁和第二电磁铁。

2.根据权利要求1所述的二维投影图像生成装置，其特征在于，所述第一反射镜和第二反射镜的两个安装板分别固定安装在第一支撑框架和第二支撑框架顶部沿偏转轴延伸方向间隔设置的两个支撑梁上，使所述支撑板通过所述两个悬臂悬置于两个支撑梁之间；所述第一驱动机构和第二驱动机构的第一电磁铁和第二电磁铁分别设置于所述第一支撑框架和第二支撑框架底部的安装座上。

3.根据权利要求2所述的二维投影图像生成装置，其特征在于，所述激光源还设有用于调节入射光的入射高度和入射角度的调节机构。

4.根据权利要求3所述的二维投影图像生成装置，其特征在于，所述调节机构包括圆柱形支柱和可转动并锁紧安装于所述圆柱形支柱上的圆柱体装夹器，所述激光源的激光发射器锁紧固定在所述圆柱体装夹器上，以随所述圆柱体装夹器相对于圆柱形支柱升降和旋转来调节入射光的入射高度和入射角度。

5.根据权利要求4所述的二维投影图像生成装置，其特征在于，所述激光源还设有用于沿至少一个方向调节激光发射器的入射位置的平移机构，所述圆柱形支柱安装在所述平移机构上。

6.根据权利要求5所述的二维投影图像生成装置，其特征在于，还包括一安装底座，所述平移机构、第一支撑框架和第二支撑框架以使激光源的入射光由第一反射镜反射后的反射光再由第二反射镜反射输出且第一反射镜和第二反射镜的偏转轴正交的方式固定安装在安装底座上。

7.根据权利要求1所述的二维投影图像生成装置，其特征在于，所述第一永磁体和第二永磁体分别为圆柱形永磁铁。

8.根据权利要求1所述的二维投影图像生成装置，其特征在于，所述第一电磁铁和第二电磁铁分别为表面绕有金属线圈的圆柱形电磁铁。

9.根据权利要求1所述的二维投影图像生成装置，其特征在于，所述镜面为硅片镜面。