[实用新型]一种用于Fery棱镜组件精密装调与检测系统

权利要求书

1.一种用于Fery棱镜组件精密装调与检测系统，所述Fery棱镜组件包括固定工装(2-1)，曲面棱镜组件一(2-2)，连接筒(2-3)，修切垫(2-4)与曲面棱镜组件二(2-5)；其中曲面棱镜组件一(2-2)包括曲面棱镜一(2-21)及固定曲面棱镜一(2-21)的曲面棱镜一镜框(2-22)，曲面棱镜组件二(2-5)包括曲面棱镜二(2-51)及固定曲面棱镜二(2-51)的曲面棱镜二镜框(2-52)；所述固定工装(2-1)安装于曲面棱镜一镜框(2-22)的底部，曲面棱镜一镜框(2-22)与曲面棱镜二镜框(2-52)通过连接筒(2-3)连接，修切垫(2-4)位于连接筒(2-3)与曲面棱镜二镜框(2-52)之间；

其特征在于：

包括三坐标测量机(1)、旋转云台(3-1)和PSM装调显微镜(3)；

所述三坐标测量机(1)包括台面(1-1)与三坐标测量头(1-3)；所述台面(1-1)用于固定固定工装(2-1)，Fery棱镜组件通过固定工装(2-1)固定在三坐标测量机台面(1-1)上；

所述旋转云台(3-1)固定在三坐标测量头(1-3)上，所述PSM装调显微镜(3)固定在旋转云台(3-1)上。

2.根据权利要求1所述的用于Fery棱镜组件精密装调与检测系统，其特征在于：所述三坐标测量头(1-3)包括探针连接块(1-31)、探针(1-33)及两个加长杆(1-32)；两个加长杆(1-32)相互垂直，均与探针连接块(1-31)相连；其中一个加长杆(1-32)的端部固定所述探针(1-33)，另一加长杆(1-32)的端部固定所述旋转云台(3-1)。