[实用新型]一种百叶窗、真空泵及真空镀膜机

说明书

本实用新型公开了一种百叶窗、真空泵及真空镀膜机，属于真空镀膜机技术领域。所述百叶窗包括：窗体及两个叶片组；两个所述叶片组均可转动式地设置在所述窗体内，两个所述叶片组相对；所述叶片组包括：传动机构、若干叶片及若干转轴；若干所述叶片与若干所述转轴一一对应，所述叶片朝向所述窗体的端部与相对应的所述转轴固定连接；若干所述转轴背离所述叶片的端部均与所述传动机构连接。本实用新型百叶窗、真空泵及真空镀膜机能提供最佳的抽气效率与吸附效果。

技术领域

本实用新型涉及真空镀膜机技术领域，特别涉及一种百叶窗、真空泵及真空镀膜机。

背景技术

需要镀膜的被称为基片，镀的材料被称为靶材。基片与靶材同在真空腔中。蒸发镀膜一般是加热靶材使表面组分以原子、原子团或分子形式被蒸发出来。并且沉降在基片表面，经历成膜过程，形成薄膜。对于溅射类镀膜，可以简单理解为利用电子或高能激光轰击靶材，并使表面组分以原子团或离子形式被溅射出来，并且最终沉积在基片表面，经历成膜过程，最终形成薄膜。

现有技术中，采用真空镀膜机进行镀膜，但是，真空镀膜机的真空泵入口处的百叶窗的叶片无法进行调节，不能调节进入真空泵蒸汽粒子的数量，导致真空泵内杂质过多，降温速率慢，减小真空泵的使用寿命。

实用新型内容

本实用新型提供一种百叶窗、真空泵及真空镀膜机，解决了或部分解决了现有技术中真空镀膜机的真空泵入口处的百叶窗的叶片无法进行调节，不能调节进入真空泵蒸汽粒子的数量，导致真空泵内杂质过多，降温速率慢，减小真空泵的使用寿命的技术问题。

为解决上述技术问题，本实用新型提供了一种百叶窗包括：窗体及两个叶片组；两个所述叶片组均可转动式地设置在所述窗体内，两个所述叶片组相对；所述叶片组包括：传动机构、若干叶片及若干转轴；若干所述叶片与若干所述转轴一一对应，所述叶片朝向所述窗体的端部与相对应的所述转轴固定连接；若干所述转轴背离所述叶片的端部均与所述传动机构连接。

进一步地每个所述叶片组中的若干所述叶片均互相平行。

进一步地每个所述叶片组中的若干所述叶片由上至下设置在所述窗体内。

进一步地每个所述叶片组中的若干所述叶片等间距均匀间隔设置。

进一步地，所述传动机构包括：电机、齿条、第一齿轮及若干第二齿轮；所述电机固定设置在所述窗体上；所述第一齿轮与所述电机的输出轴固定连接；所述齿条可滑动式地设置在所述窗体的外壁上；若干所述第二齿轮与若干所述转轴一一对应，所述第二齿轮与相对应的所述转轴固定连接；所述第一齿轮及若干所述第二齿轮均与所述齿条啮合。

进一步地，所述百叶窗还包括：冷凝水管；所述冷凝水管固定设置在所述叶片内。

本申请还提供一种真空泵，包括所述的百叶窗。

本申请还提供一种真空镀膜机，包括所述的真空泵。

本申请实施例中提供的一个或多个技术方案，至少具有如下技术效果或优点：

由于两个叶片组均可转动式地设置在窗体内，两个叶片组相对，若干叶片与若干转轴一一对应，叶片朝向窗体的端部与相对应的转轴固定连接，若干转轴背离叶片的端部均与传动机构连接，所以，当进行针孔抽取时，根据工艺的实际情况，操作传动机构，传动机构带动若干转轴同时进行转动，使每个叶片组的叶片转动相同的角度，能提供最佳的抽气效率与吸附效果，可以调节进入真空泵蒸汽粒子的数量，避免真空泵内杂质过多，降温速率快，增加了真空泵的使用寿命。

附图说明

图1为本实用新型实施例提供的百叶窗的结构示意图；

图2为图1中百叶窗的传动机构的结构示意图；

图3为图1中百叶窗的叶片的结构示意图。

具体实施方式