[实用新型]一种半导体管路新型气缸刮刀有效

专利信息
申请号: 202021515697.3 申请日: 2020-07-28
公开(公告)号: CN213134344U 公开(公告)日: 2021-05-07
发明(设计)人: 崔汉博;崔汉宽 申请(专利权)人: 绍兴市高笙半导体科技有限公司
主分类号: B08B9/049 分类号: B08B9/049;B08B13/00
代理公司: 绍兴普华联合专利代理事务所(普通合伙) 33274 代理人: 桑杨
地址: 312000 浙江省绍兴市*** 国省代码: 浙江;33
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摘要:
搜索关键词: 一种 半导体 管路 新型 气缸 刮刀
【权利要求书】:

1.一种半导体管路新型气缸刮刀,其特征在于:包括与通气防堵盘相互连接的连接部(11),所述连接部(11)为中空的壳状结构,所述连接部(11)的上方设有刮刀气缸(2)和用于进气的主腔体连接管(1),所述主腔体连接管(1)和连接部(11)相互连通,所述刮刀气缸(2)的活塞杆朝下放置,并且在所述刮刀气缸(2)的活塞杆处通过螺栓连接有活塞杆连接柱(5),所述活塞杆连接柱(5)穿过连接部(11)上端面的部分为阶梯轴结构,所述活塞杆连接柱(5)的下方连接有弹簧固定销(6),所述活塞杆连接柱(5)与弹簧固定销(6)紧配合,所述弹簧固定销(6)为阶梯轴结构且其上部与活塞杆连接柱(5)连接的部分的直径大于下部直径,所述弹簧固定销(6)的外周套设有弹簧刮刀(4),所述弹簧刮刀(4)与弹簧固定销(6)的上部紧配合。

2.如权利要求1所述的一种半导体管路新型气缸刮刀,其特征在于:所述主腔体连接管(1)的侧壁上设有空气接头(12),所述空气接头(12)位于主腔体连接管(1)远离刮刀气缸(2)的一侧。

3.如权利要求1所述的一种半导体管路新型气缸刮刀,其特征在于:所述活塞杆连接柱(5)穿过连接部(11)上端面的部分设有轴肩(51),在所述轴肩(51)处设有垫片(10),所述弹簧刮刀(4)的上端与垫片(10)相抵靠,所述弹簧刮刀(4)最上端的一圈卡入垫片(10)与弹簧固定销(6)之间的空隙内。

4.如权利要求1所述的一种半导体管路新型气缸刮刀,其特征在于:所述活塞杆连接柱(5)的外周套设有活塞杆密封桶(3),所述活塞杆密封桶(3)的上部与刮刀气缸(2)之间设有密封环,所述活塞杆密封桶(3)的下部卡入连接部(11)上对应的圆孔内。

5.如权利要求1所述的一种半导体管路新型气缸刮刀,其特征在于:所述刮刀气缸(2)上设有进气接头(21)和出气接头(22)。

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