[实用新型]一种直接单晶炉用升降式石墨加热器

说明书

本实用新型公开了一种直接单晶炉用升降式石墨加热器，包括U形底座和安装板，U形底座顶端的四角通过四个第一多级液压缸分别固定安装有两个安装座，两个安装座之间设有箱体，箱体两侧的中部分别与两个安装座的内侧固定连接，本实用新型的有益效果是：通过设置的四个第一多级液压缸、两个正反转电机、两个连接轴、两对连接块、三个滑槽柱、三个滑块、三个支撑杆、两个齿轮、两个齿条和安装板相配合，便于控制石墨加热器的工作高度，通过设置的两个连接轴、两对连接块、三个滑槽柱、三个滑块、三个支撑杆、两个齿轮、两个齿条和安装板均为耐高温材料制成的，用于满足耐高温的特性来达到具有一定的耐用性。

技术领域

本实用新型涉及一种石墨加热器，特别涉及一种直接单晶炉用升降式石墨加热器，属于硅单晶制备技术领域。

背景技术

半导体工业的主要物质基础是半导体材料。半导体材料制造技术的不断进步，推动了超大规模、超高速集成电路的迅速发展，带来了现代电子计算机的更新换代。半导体材料、半导体器件及集成电路的发展与应用水平已成为衡量一个国家的国力、国防、国民经济现代化和人民生活水平的重要标志，半导体硅材料是重要的半导体功能材料，其用量约占半导体材料总用量的95％以上，单晶炉是一种在惰性气体（氮气、氦气为主）环境中,用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化,用直拉法生长无错位单晶的设备，但是现有的石墨加热器不便于控制其工作高度，其内部设备不能满足耐高温的特性来达到具有一定的耐用性，不便于工作人员避免用手直接操作，降低了石墨加热器的安全性和实用性。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种直接单晶炉用升降式石墨加热器，以解决上述背景技术中提出的现有的石墨加热器不便于控制其工作高度、其内部设备不能满足耐高温的特性来达到具有一定的耐用性和不便于工作人员避免用手直接操作的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种直接单晶炉用升降式石墨加热器，包括U形底座和安装板，所述U形底座顶端的四角通过四个第一多级液压缸分别固定安装有两个安装座，两个所述安装座之间设有箱体，所述箱体两侧的中部分别与两个安装座的内侧固定连接，所述箱体内壁的底部设有滑动支撑组件，所述滑动支撑组件包括三个滑槽柱和三个第二多级液压缸，三个所述滑槽柱均固定安装在箱体内壁的底端，三个所述滑槽柱内壁的顶部均滑动设有滑块，三个所述滑块的顶端均固定安装有支撑杆，三个所述第二多级液压缸的底端分别与三个滑槽柱内壁的底端固定连接，三个所述第二多级液压缸的顶端分别与三个滑块的底端固定连接，所述安装板固定设置在三个支撑杆的顶端，所述箱体的内部设有加热升降装置，所述加热升降装置包括两个正反转电机和两个齿条，两个所述正反转电机分别固定安装在两个安装座的内部，两个所述正反转电机的输出轴均固定安装有连接轴，两个所述连接轴的一端均固定套设有齿轮，所述安装板的顶端固定安装有石墨加热筒，所述石墨加热筒两侧的顶部和两侧的底部分别固定安装有两对连接块，两个所述齿条内侧的顶部和内侧的底部分别与两对连接块的外侧固定连接，两个所述齿条外侧的底部分别与两个齿轮啮合。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述U形底座内壁底端的边侧固定安装有倒L形固定柱，所述倒L形固定柱另一边侧的顶部固定安装有炉体，所述炉体设置在石墨加热筒的内部。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述箱体顶端的四角分别固定安装有两对舵机，两对所述舵机的输出轴通过两对安装杆分别固定安装有两个顶板。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述U形底座的底端固定安装有防滑垫。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述U形底座的边侧固定安装有开关面板。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述开关面板的表面分别固定设有第一多级液压缸控制开关、正反转电机及第二多级液压缸控制开关、石墨加热筒控制开关和舵机控制开关，四个所述第一多级液压缸、两个正反转电机、两个第二多级液压缸、石墨加热筒和两对舵机分别通过第一多级液压缸控制开关、正反转电机及第二多级液压缸控制开关、石墨加热筒控制开关和舵机控制开关与外接电源电性连接。