[实用新型]一种中心进气的电弧离子镀装置

权利要求书

1.一种中心进气的电弧离子镀装置，包括阴极盖（1）和阴极座（2），所述阴极盖（1）和阴极座（2）相连接形成阴极组件，所述阴极座（2）远离阴极盖（1）的一侧表面上设有靶材安装部（201），所述靶材安装部（201）上连接有靶材，其特征在于：所述靶材中心处设有第一通孔（301），所述阴极座（2）上设有连通第一通孔（301）的第二通孔（202），所述阴极盖（1）上设有连通第二通孔（202）的第三通孔（101），所述第一通孔（301）、第二通孔（202）、第三通孔（101）相连接形成进气管路。

2.根据权利要求1所述的中心进气的电弧离子镀装置，其特征在于：所述阴极盖（1）和阴极座（2）之间具有冷却水腔（7）；所述阴极座（2）接近阴极盖（1）的一侧设有凸起的中空的导气柱（203），第二通孔（202）的部分为导气柱（203）中空部分，所述阴极盖（1）对应所述导气柱（203）设有适配的内沉槽（105），所述导气柱（203）位于内沉槽（105）内且与内沉槽（105）密封配合。

3.根据权利要求2所述的中心进气的电弧离子镀装置，其特征在于：所述导气柱（203）的周向侧壁上设有第一环形密封槽（208），所述导气柱（203）抵接阴极盖（1）的一端端部设有第二环形密封槽（209），所述第一环形密封槽（208）和第二环形密封槽（209）内均设有密封件用于与内沉槽（105）内壁之间形成密封配合关系。

4.根据权利要求1-3任一项所述的中心进气的电弧离子镀装置，其特征在于：所述阴极座（2）远离靶材安装部（201）的一侧表面设有凹槽（204），所述凹槽（204）内设有凸起的隔板（205），所述隔板（205）抵接阴极盖（1），所述阴极盖（1）与凹槽（204）底部之间形成冷却水腔（7），所述隔板（205）使冷却水腔（7）形成若干个单独的空腔以及所述隔板（205）上设有通口（206）使若干个单独的空腔相连通形成一个螺旋水道；

所述阴极盖（1）上设有两个分别连通螺旋水道的两端的进水管（102）和出水管（103）。

5.根据权利要求1-3任一项所述的中心进气的电弧离子镀装置，其特征在于：所述第一通孔（301）内设有导气管（302），所述导气管（302）为绝缘材质制成。

6.根据权利要求1所述的中心进气的电弧离子镀装置，其特征在于：

所述阴极盖（1）远离阴极座（2）的一侧设有线圈（4）；

所述阴极盖（1）上设有一组第一磁极（5）；所述阴极盖（1）远离阴极座（2）的一侧表面上设有一组第二磁极（6）；

所述阴极座（2）上设有沿环状排列的若干永磁体安装孔（207），所述永磁体安装孔（207）用于设置第一磁极（5）。

7.根据权利要求6所述的中心进气的电弧离子镀装置，其特征在于：所述阴极盖（1）远离阴极座（2）的一侧表面设有凸起的中空的进气管（104），所述第二磁极（6）与进气管（104）连接且相对进气管（104）可沿轴向位移。

8.根据权利要求1所述的中心进气的电弧离子镀装置，其特征在于：还包括安装板，所述阴极组件固定在安装板的一侧，且安装板上设有供靶材完全露出的开口，所述安装板相对固定阴极组件的另一侧安装有阳极罩，所述阳极罩的外端部与安装板之间的垂直距离大于所述靶材外表面与安装板之间的垂直距离；

所述阳极罩电连接脉冲弧电源的正极，所述阴极组件电连接脉冲弧电源的负极；

所述脉冲弧电源是具有一定基值作为稳弧电流，并可周期性输出瞬间强流的弧电源，其具体参数为：20-100A基值电流可调、100-1000A的峰值电流可调，频率1-1KHZ，占空比1-80%可调。

9.根据权利要求8所述的中心进气的电弧离子镀装置，其特征在于：所述阳极罩为环形锥形结构，其锥度角为30-45°；或者，所述阳极罩为长条折弯型结构，其折弯角度为30-45°。

10.根据权利要求8或9所述的中心进气的电弧离子镀装置，其特征在于：所述阳极罩为空心结构，其内腔中通入冷却水。