[实用新型]一种芯片吸嘴

说明书

本实用新型公开了一种芯片吸嘴，包括第一端部和与第一端部相对的第二端部，第一端部与第二端部之间设有通道，第一端部的端面具有芯片槽，芯片槽的槽底设有一个凹槽，通道通过通孔与凹槽连通。在吸取芯片时，芯片容纳在芯片槽中，芯片覆盖在凹槽上而形成一个负压区，增大了芯片吸嘴对芯片的吸力和提高了吸取芯片时的稳定。

技术领域

本实用新型涉及芯片制造领域，特别涉及一种芯片吸嘴。

背景技术

目前的芯片尺寸小到1-3mm，在对超小芯片进行处理和检测过程中，都需要用吸嘴吸取和放置芯片。常规的吸嘴结构简单，其包含一贯穿吸嘴的吸气通道，在吸气通道的一端为吸取芯片的工作端。吸嘴安装在设备上，利用真空发生器透过吸气通道将芯片吸在吸嘴的工作端。现有的吸嘴在使用时，有时会吸力不足，导致芯片掉落。

实用新型内容

为了解决现有技术的一个或多个问题，本实用新型公开一种芯片吸嘴，其包括第一端部和与第一端部相对的第二端部，第一端部与第二端部之间设有通道，第一端部的端面具有芯片槽，芯片槽的槽底设有一个凹槽，通道通过通孔与凹槽连通。

本实施方式的有益效果是：在吸取芯片时，芯片容纳在芯片槽中，芯片覆盖在凹槽上而形成一个负压区，增大了芯片吸嘴对芯片的吸力和提高了吸取芯片时的稳定。

在某些实施方式中，芯片槽呈矩形。一般而言，在芯片制程中，芯片由晶圆按芯片大小分割而成，故而芯片呈矩形，因此，矩形芯片槽的形状可与芯片形状相适配。

在某些实施方式中，凹槽呈矩形或圆形。

在某些实施方式中，凹槽的边缘与芯片槽的边缘之间间隔设置。芯片被吸引到芯片槽内时，芯片能够完全覆盖凹槽，避免凹槽边缘漏气。

在某些实施方式中，凹槽设置在所示芯片槽的槽底中心，通孔设置在凹槽的槽底中心。

在某些实施方式中，通道的横截面呈方形。

在某些实施方式中，芯片吸嘴的主体呈圆柱形，其一端为第一端部，另一端为第二端部。

在某些实施方式中，通道在第一端部和第二端部之间沿着芯片吸嘴的轴向延伸，其一端延伸至第二端部，另一端通过通孔与凹槽连通。

在某些实施方式中，通孔为圆孔。

在某些实施方式中，第一端部的边缘设有四个分别与芯片槽的四条边相对应的倒角。

附图说明

图1为本实用新型一实施方式的芯片吸嘴的透视图。

图2为本实用新型一实施方式的芯片吸嘴的底视图。

图3为本实用新型一实施方式的芯片吸嘴的俯视图。

图4为图3所示的芯片吸嘴沿AA面的剖视图。

图5为本实用新型一实施方式的芯片吸嘴吸取芯片时的状态图。

芯片吸嘴 10

第一端部 11

第二端部 12

通道 13

芯片槽 14

凹槽 15

通孔 16

倒角 17

芯片 20

具体实施方式

图1-4显示了本公开具体实施例的芯片吸嘴10。图1为芯片吸嘴10的透视图，图2为芯片吸嘴10的底视图，图3为芯片吸嘴10的俯视图，图4为芯片吸嘴10沿图3中AA面的剖视图。