[实用新型]一种基于机器视觉的晶圆切割随动监控装置

权利要求书

1.一种基于机器视觉的晶圆切割随动监控装置，其特征在于：所述的基于机器视觉的晶圆切割随动监控装置包括承载机架、三维位移台、承载托盘、CCD摄像头、检测盘、激光灯及驱动电路，所述承载机架为柱状框架结构，所述激光灯嵌于承载机架内，并与承载机架轴线平行分布，所述承载托盘为轴向截面呈“凵”字形槽状结构，位于承载机架下方并与承载机架间同轴分布，其上端面与三维位移台连接并同轴分布，所述检测盘嵌于承载托盘上端面并与承载托盘上端面同轴分布，所述CCD摄像头位于承载托盘内，并与承载托盘底部连接，且所述CCD摄像头光轴与承载托盘同轴分布，并与检测盘下端面相交，所述驱动电路嵌于承载机架外，并分别与三维位移台、CCD摄像头、激光灯电气连接。

2.根据权利要求1所述的一种基于机器视觉的晶圆切割随动监控装置，其特征在于：所述的承载机架包括承载龙骨、电动伸缩杆、定位夹具、导向滑轨，所述承载龙骨为横断面呈“工”字形框架槽状结构，其左侧面和右侧面均设一个定位槽，所述定位槽的侧壁上均设至少一条与承载龙骨轴线平行分布的导向滑轨，所述电动伸缩杆至少一条，其轴线与承载龙骨轴线垂直分布，且后端面嵌于承载龙骨一侧的定位槽内并与定位槽侧壁的导向滑轨滑动连接，所述电动伸缩杆前端面设定位夹具，并通过定位夹具与激光灯连接，所述激光灯与定位槽槽底间间距为定位槽深度的0.5—5倍。

3.根据权利要求1所述的一种基于机器视觉的晶圆切割随动监控装置，其特征在于：所述的承载托盘内设若干光敏传感器，所述光敏传感器中，各光敏传感器轴线均与检测盘上端面垂直分布，其中一个光敏传感器嵌于检测盘圆心位置，剩余各光敏传感器环绕承载托盘轴线嵌于承载托盘上端面，各光敏传感器间相互并联并分别与驱动电路电气连接。

4.根据权利要求1所述的一种基于机器视觉的晶圆切割随动监控装置 ，其特征在于：所述的检测盘侧表面通过回转机构与承载托盘侧壁滑动连接，所述回转机构为与承载托盘同轴分布的闭合环装结构，且回转机构上设一个角度传感器，所述回转机构及角度传感器均与驱动电路电气连接。

5.根据权利要求1所述的一种基于机器视觉的晶圆切割随动监控装置 ，其特征在于：所述的检测盘包括定位套、滤光片及透明分化板，所述定位套为空心柱状结构，所述滤光片共两片，分别嵌于定位套上端面及下端面并与定位套同轴分布，所述透明分化板嵌于定位套内并位于两滤光片之间位置。

6.根据权利要求1所述的一种基于机器视觉的晶圆切割随动监控装置 ，其特征在于：所述的驱动电路为基于工业单片机及可编程控制器中任意一种为基础的电路系统。