[实用新型]一种光纤引导式晶圆激光切割装置

权利要求书

1.一种光纤引导式晶圆激光切割装置，其特征在于：所述的光纤引导式晶圆激光切割装置包括承载底座、防护套、激光切割器、光纤激光器、转台机构、直线驱动导轨、调节块、聚光镜及驱动电路，所述承载底座为横断面呈“冂”字形槽状结构，其下端面与防护套连接并同轴分布，所述防护套为与承载底座同轴分布的空心柱状框架结构，且承载底座和防护套构成轴向截面呈“冂”字形腔体结构，所述激光切割器与承载底座连接并与承载底座同轴分布，所述光纤激光器至少两个，与承载底座连接并环绕激光切割器轴线均布，且所述光纤激光器的激光头分别通过转台机构与调节块前端面铰接，其光轴与防护罩轴线呈0°—90°夹角，且当光纤激光器的激光头轴线与防护罩轴线夹角大于0°时，光纤激光器的激光头光轴与激光切割器光轴相交，所述聚光镜嵌于防护套下端面并与防护套同轴分布，且所述调节块和聚光镜均通过直线驱动滑轨与防护套内表面滑动连接，且所述聚光镜位于调节块下方，所述直线驱动滑轨至少两条，环绕防护套轴线均布并与防护套轴线平行分布，所述驱动电路嵌于防护套外表面，并分别与激光切割器、光纤激光器、转台机构及直线驱动滑轨电气连接，

2.根据权利要求1所述的一种光纤引导式晶圆激光切割装置 ，其特征在于：所述的防护套包括承载龙骨、防护套管、承载架、散热翅板、引流风机、导流管，所述承载龙骨为横断面呈圆形的框架结构，其外表面均布若干散热翅板，所述防护套管位于承载龙骨同轴分布的管状结构，嵌于承载龙骨内，并与承载龙骨内表面通过承载架连接，所述防护套管上端面与承载底座相抵并包覆在激光切割器外，下端面位于聚光镜上方至少10毫米处，所述导流管若干，环绕承载龙骨轴线均布在承载龙骨内表面及防护套管外表面，各导流管轴线与承载龙骨轴线平行分布，并通过汇流管与引流风机连通，所述引流风机至少一个，与承载龙骨外表面连接，并与驱动电路电气连接，所述承载架为与承载龙骨同轴分布的框架结构，且所述聚光镜通过承载架与承载龙骨侧壁的直线驱动滑轨滑动连接。

3.根据权利要求2所述的一种光纤引导式晶圆激光切割装置 ，其特征在于：所述的防护套管内设至少两个透镜组，且所述透镜组与防护套管同轴分布并沿防护套管轴线方向均布。

4.根据权利要求1所述的一种光纤引导式晶圆激光切割装置 ，其特征在于：所述的聚光镜包括定位座、双曲率凸透镜、凹透镜、平面透镜及电动调焦底座，其中所述定位座为轴向截面为倒置等腰梯形的圆台结构，且定位座上端面内径为下端面内径的1.5—5倍，所述平面透镜分别包覆在定位座上端面及下端面，所述双曲率凸透镜、凹透镜均至少一个，沿定位座轴线自下向上分布并分别通过电动调焦底座与定位座内侧壁滑动连接，所述电动调焦底座与驱动电路电气连接。

5.根据权利要求1所述的一种光纤引导式晶圆激光切割装置 ，其特征在于：所述的调节块前端面与转台机构同轴分布，所述转台机构与光纤激光器的激光头外表面铰接，所述光纤激光器的激光头下端面与聚光镜上端面间间距不小于10毫米，且光纤激光器的激光头光轴与激光切割器光轴交点位于聚光镜上端面0—10毫米处。

6.根据权利要求1所述的一种光纤引导式晶圆激光切割装置 ，其特征在于：所述的转台机构上设至少一个角度传感器，所述直线驱动导轨上设位移传感器，且所述位移传感器分别与调节块及聚光镜连接，并与驱动电路电气连接。

7.根据权利要求1所述的一种光纤引导式晶圆激光切割装置 ，其特征在于：所述的驱动电路为基于工业单片机及可编程控制器中任意一种为基础的电路系统。