[实用新型]一种蒸镀设备

说明书

本实用新型涉及一种蒸镀设备，包括蒸镀装置、旋转机构、遮挡装置以及膜厚仪；所述旋转机构设置于所述蒸镀装置一侧，所述旋转机构与所述遮挡装置连接，所述膜厚仪设置于所述遮挡装置一侧；所述膜厚仪包括晶振片，所述晶振片设置于所述遮挡装置一侧；所述旋转机构用于旋转所述遮挡装置；所述蒸镀装置用于蒸镀蒸镀材料；所述遮挡装置用于调节遮挡蒸镀材料蒸汽到晶振片上的比例。本实用新型的蒸镀设备通过遮挡装置来调节遮挡蒸镀材料蒸汽到晶振片上的比例，以适应不同蒸镀材料镀率的需求，从而延长晶振片使用寿命，且实现对膜厚精确的控制。

技术领域

本实用新型涉及蒸镀技术领域，特别涉及一种蒸镀设备。

背景技术

有机发光二极管(Organic Light-Emitting Diode，OLED)具有自发光、轻薄、易于实现柔性等优良特点，经过几十年的发展，已经广泛应用在显示领域，成为一种主流的显示技术。

OLED器件的核心部分是由多层有机或者无机薄膜构成的电致发光结构，该结构主要采用物理气相沉积法制备，在基板上依次沉积空穴注入层、空穴传输层、激子阻挡层、发光层、电子传输层、电子注入层、阴极、覆盖层；不同膜层的厚度不同，例如电子注入层最薄可以做到空穴传输层的厚度可以达到每个膜层的厚度都需要严格控制，厚度的变化会明显影响器件的性能；部分膜层需要两种以上的材料共同蒸镀，共同蒸镀的材料，掺杂的比例也需要严格控制，掺杂比例的不同，也会给器件性能带来显著影响。基于以上原因，实时精确监控薄膜的厚度就显得尤为重要。

在现有技术中，一般采用晶振膜厚仪来监控薄膜的镀率。蒸镀材料蒸镀到膜厚仪的晶振片上，导致晶振片的质量发生变化，质量的变化引起晶振片振动频率发生变化，记录这种频率的变化就可以得出对应的膜厚变化。质量增加到一定程度，晶振片就会失效，就需要打开真空腔更换晶振片。在晶振片前方加装一个遮挡装置，挡住部分蒸镀材料，是节约晶振片以及延长晶振片使用寿命的一个有效方法。遮挡装置如果挡掉的蒸镀材料蒸汽太少，就会起不到延长晶振片使用寿命的作用，如果挡掉太多的蒸镀材料蒸汽，到达晶振片的蒸镀材料蒸汽太少，会出现测量不稳定的现象。

实用新型内容

为此，需要提供一种蒸镀设备，用于解决在现有技术中，遮挡装置如果挡掉的蒸镀材料蒸汽太少，就会起不到延长晶振片使用寿命的作用，如果挡掉太多的蒸镀材料蒸汽，到达晶振片的蒸镀材料蒸汽太少，会出现测量不稳定的技术问题。

为实现上述目的，发明人提供了一种蒸镀设备，包括蒸镀装置、旋转机构、遮挡装置以及膜厚仪；

所述旋转机构设置于所述蒸镀装置一侧，所述旋转机构与所述遮挡装置连接，所述膜厚仪设置于所述遮挡装置一侧；

所述膜厚仪包括晶振片，所述晶振片设置于所述遮挡装置一侧；

所述旋转机构用于旋转所述遮挡装置；

所述蒸镀装置用于蒸镀蒸镀材料；

所述遮挡装置用于调节遮挡蒸镀材料蒸汽到晶振片上的比例。

作为本实用新型的一种优选结构，所述遮挡装置包括第一挡板、第二挡板以及第一固定盘；

所述第一固定盘设置于所述第一挡板的一侧，所述第一固定盘用于固定所述第一挡板；

所述第二挡板设置于所述第一挡板的一侧；

所述第一固定盘、所述第一挡板、所述第二挡板之间依次通过螺栓连接；

所述第一挡板、所述第二挡板用于遮挡部分蒸镀材料蒸气。

作为本实用新型的一种优选结构，所述旋转机构包括底座以及旋转轴，所述旋转轴与所述底座连接。

作为本实用新型的一种优选结构，所述第一固定盘、所述第一挡板、所述第二挡板分别与所述旋转轴可拆卸连接。