[实用新型]照明设备

说明书

本实用新型公开一种照明设备，用以对照明区提供照明，照明设备包括至少两个照明装置。至少两个照明装置被设置在照明区周围，且相面对。至少两个照明装置的每一个用以将水平排列的多个准直光束垂直汇聚成平行光后再以水平聚焦成照明光来照射照明区。

技术领域

本实用新型涉及视觉检查或扫描系统，特别是指视觉检查或扫描系统的照明设备。

背景技术

随着半导体技术提升，半导体材料(例如晶圆)的结构、尺寸或线路愈来愈精细，各阶段制程的检查也变得愈来愈重要，检查不仅是对半导体材料检查，还包括制程中所使用的材料或装置，例如光罩。

目前已知的暗区检查技术是将照明光照(投)射在半导体材料或光罩上，再通过取像设备拍摄已获得对应的影像，这种技术让半导体材料或光罩上的粉尘或异物在影像上是明亮，而被发现。

目前照明光通常采用一个高强度光源来对光罩提供照明，光罩上由导电路径所构成的图案的反射率是比粉尘或异物的反射率更好，目前，照明光照射光罩被检查区域时，被检查区域范围内的微小地粉尘或异物及图案都会被照亮，但由于图案的反射率高于微小地粉尘或异物的反射率，因此，将使得图案的反射光强度大于微小地粉尘或异物的反射光强度，而不利于取像及检查作业。

为了避免上述单一光源所产生的问题，目前照明光也有通过环状排列的激光束组成的照明光，如图6所示，图6是通过环状排列的八个激光束投射在对象上的受光角度图，图中可发现激光束是单一角度的大致准直光束，也就是说激光束投射的角度可以产生高强度的照明，激光束与激光束之间的间隔则几乎没有照明光。虽然这种照明方式可以增加被检查区域范围的受光角度，但仍不足以在360度的范围中均匀分配照明光，因此，取像设备拍摄时，被检查区域范围内的图案的反射光强度仍可能会特定角度中发生大于微小地粉尘或异物的反射光强度的现像，故也不利于取像及检查作业。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种照明设备，可以提供更均匀角度及高强度的照明，以清楚地照亮异物或缺陷，而清楚识别异物或缺陷的位置及尺寸。

为了达成上述目的，本实用新型的照明设备用以对照明区提供照明，照明设备包括至少两个照明装置。至少两个照明装置被设置在照明区周围，且相面对。至少两个照明装置的每一个用以将水平排列的多个准直光束垂直汇聚成平行光后再以水平聚焦成照明光来照射照明区。

如此，本实用新型的照明装置可以通过多个准直光束聚焦的照明光来提供多角度的照明，并可对照明区提供高照度的照明。

其中，该平行光是线光源，该照明光是一点光源。

其中，每一个所述照明装置包括一发光单元、一微透镜阵列、一第一透镜及一第二透镜，该发光单元包括多个发光元件，以产生多个发散光，该微透镜阵列位在该发光单元及该第一透镜之间，且包括多个微透镜，该多个发散光一对一通过该多个微透镜以输出该多个准直光束，该多个准直光束通过该第一透镜以垂直汇聚输出该平行光，该第二透镜面对该第一透镜，且供该平行光通过而水平聚焦输出该照明光。

其中，该多个发光元件及该多个微透镜的排列是平行排列。

其中，该至少二个照明装置的照明光包括一蓝色可见光及一绿色可见光。

为了达成上述目的，本实用新型的照明设备用以对照明区提供照明。照明设备包括多个照明装置。多个照明装置被环绕设置在照明区周围。多个照明装置的每一个用以将水平排列的多个准直光束垂直汇聚成平行光后再以水平聚焦成照明光来照射照明区。

如此，本实用新型的照明装置可以通过多个准直光束提供更多角度及亮度的照明，并通过环绕照明区周围的照明装置来提供较广角度的照明。

其中，该平行光是线光源，该照明光是一点光源。