[实用新型]一种应用于光源检测的硅片自动传送设备

说明书

本实用新型涉及一种应用于光源检测的硅片自动传送设备，包括机架、工作台、硅片传送机构、光源检测机构和分拣剔除机构；工作台固定安装在机架的上端面，硅片传送机构固定安装在工作台的上表面；光源检测机构架设在硅片传送机构的输入端；分拣剔除机构架设在硅片传送机构的输出端；其中，硅片传送机构包括传送架、若干同步轮和皮带；传送架固定设置工作台的上表面，各同步轮转动连接在传送架的内侧壁，皮带套设在各同步轮上。本实用新型通过将硅片传送机构、光源检测机构和分拣剔除机构高度集成，实现硅片的自动、高效、准确地分选，有效地提高硅片检测分选的产能，保证硅片根据参数进行精准分选并且降低误检率等优点。

技术领域

本实用新型属于光电检测设备技术领域，尤其涉及一种应用于光源检测的硅片自动传送设备。

背景技术

半导体硅片是半导体器件制作的基础原料。半导体器件生产线所生产的产品众多，规格型号各有不同。针对不同器件的规格参数需选择特定电阻率、厚度的硅片进行投产。若选择的硅片电阻率、厚度及外观不符合要求，则生产出的产品会发生电性参数的偏离，形成产品不良。目前来料硅片需检测的参数如下：1.硅片外观参数：崩边、缺口、沾污、划伤；2.硅片几何参数；厚度、TTV、翘曲、形变；3.硅片电阻率参数：阻值、P/N型判断；为满足半导体器件产品对来料硅片的检测要求就需要设计人员兼顾考虑以上三方面的检测参数。目前市面上的半导体硅片测试分选设备绝大多数采用人工抽检与探针检测等方式，其存在以下缺点：1.探针台检测分选效率低，难以满足大规模生产的要求；2.人工检测误检率高；3.目前市面上的设备只能检测单一参数或2～3个参数，难以根据硅片的外观、几何及电阻率参数进行合理的分选，影响产品良率。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种应用于光源检测的硅片自动传送设备，旨在解决现有技术中产能效率低、误检率高、检测参数单一的问题。

为实现上述目的，本实用新型实施例提供的一种应用于光源检测的硅片自动传送设备，包括机架、工作台、硅片传送机构、光源检测机构和分拣剔除机构；所述工作台固定安装在所述机架的上端面，所述硅片传送机构固定安装在所述工作台的上表面以向前输送硅片；所述光源检测机构架设在所述硅片传送机构的输入端以拍摄并摄取硅片的检测影像；所述分拣剔除机构架设在所述硅片传送机构的输出端以剔除经所述光源检测机构检验不及格的硅片；其中，所述硅片传送机构包括传送架、若干同步轮和皮带；所述传送架固定设置所述工作台的上表面，各所述同步轮转动连接在所述传送架的内侧壁，所述皮带套设在各所述同步轮上。

可选地，所述光源检测机构包括架设于所述传送架两侧并固定连接在所述工作台上表面的检测安装架、相邻固定安装在所述检测安装架上的线扫相机和可调节线扫光源、以及套设在所述检测安装架的上表面并将所述线扫相机和所述可调节线扫光源相包围的外罩箱。

可选地，所述检测安装架上竖直固定有架设安装柱，所述架设安装柱的端部设置有相机位调整座，所述线扫相机固定连接在所述相机位调整座上。

可选地，所述可调节线扫光源包括旋转组件和设于该旋转组件上的线扫光源主体；所述旋转组件包括线扫旋转轴、安装侧板和旋转块，两个所述安装侧板平行固定在所述检测安装架的两侧，所述旋转块固定在所述安装侧板上，所述线扫旋转轴的两端可转动地安装在所述旋转块上，所述线扫光源主体固定在所述线扫旋转轴上。

可选地，所述检测安装架的底部设置有若干支撑架，各所述支撑架的底部均与所述工作台固定连接。

可选地，所述分拣剔除机构包括架设于所述传送架两侧并固定连接在所述工作台上表面的龙门架、设于该龙门架上的动力组件及横向导轨和可升降的抓料组件；所述抓料组件在所述动力组件作用下沿所述横向导轨往复平移的同时，且相对于所述龙门架做升降运动。