[实用新型]一种硅片烘干装置

说明书

本实用新型涉及一种硅片烘干装置，它包括：槽体；风箱，所述风箱设置在所述槽体相对两侧，所述风箱上部侧面开设有多个横条形的出风开口，所述出风开口与所述槽体内腔相连通；加热机构，所述加热机构设置在所述风箱内；致风腔，所述致风腔设置在所述槽体底部，所述致风腔出口与所述风箱下部相连通，所述致风腔的进口与所述槽体内腔相连通；扇叶，所述扇叶设置在所述致风腔中，所述扇叶由驱动件驱动而旋转。气流在致风腔、风箱、槽体内腔间循环流动，对硅片进行持续烘干，具有较高的烘干效率。风箱上的横条形出风开口使得气流以扁平状吹向硅片，气流更易进入硅片间的间隙，从而促进对硅片之间的水分进行烘干。

技术领域

本实用新型涉及一种烘干装置，特别是涉及一种硅片烘干装置。

背景技术

硅片在进行制绒、水洗后，硅片表面带有液滴，无法直接进行下一工艺，因此需要对硅片进行烘干。

若能提高烘干效率，则能提高生产效率。

实用新型内容

本实用新型目的是要提供一种硅片烘干装置，具有较大的烘干效率。

为达到上述目的，本实用新型采用的技术方案是：

本实用新型提供了一种硅片烘干装置，它包括：

槽体；

风箱，所述风箱设置在所述槽体相对两侧，所述风箱上部侧面开设有多个横条形的出风开口，所述出风开口与所述槽体内腔相连通；

加热机构，所述加热机构设置在所述风箱内；

致风腔，所述致风腔设置在所述槽体底部，所述致风腔出口与所述风箱下部相连通，所述致风腔的进口与所述槽体内腔相连通；

扇叶，所述扇叶设置在所述致风腔中，所述扇叶由驱动件驱动而旋转。

优选地，所述加热机构为红外加热管。

优选地，所述风箱内设置有支撑架，所述加热机构安装在所述支撑架上。

优选地，所述风箱以扁平状贴附于所述槽体内侧表面。

优选地，所述扇叶为涡轮风扇。

优选地，所述槽体上设置有槽盖。

优选地，所述出风开口在竖直方向排列有多排。

由于上述技术方案运用，本实用新型与现有技术相比具有下列优点：

本实用新型的硅片烘干装置，由于设置有槽体、风箱、加热机构、致风腔以及扇叶，扇叶由驱动件驱动而旋转，产生气流，气流从致风腔进入风箱中被加热机构加热，并从风箱的出风开口排出吹向槽体内的硅片，对硅片进行烘干。气流在致风腔、风箱、槽体内腔间循环流动，对硅片进行持续烘干，具有较高的烘干效率。风箱上的横条形出风开口使得气流以扁平状吹向硅片，气流更易进入硅片间的间隙，从而促进对硅片之间的水分进行烘干。

附图说明

后文将参照附图以示例性而非限制性的方式详细描述本实用新型的一些具体实施例。附图中相同的附图标记标示了相同或类似的部件或部分。本领域技术人员应该理解，这些附图未必是按比例绘制的。附图中：

图1是根据本实用新型优选实施例的硅片烘干装置的立体示意图；

图2是图1所示的正视透视图；

图3是图1的左视透视图；

其中，附图标记说明如下：

1、槽体；

2、风箱；21、出风开口；

3、加热机构；

4、致风腔；