[实用新型]一种柔性调节机构和夹具

说明书

本申请实施例属于半导体加工设备技术领域，涉及一种柔性调节机构和夹具，包括底部支撑板、侧面支撑板和调节件；所述侧面支撑板为两个并供压爪安装，所述侧面支撑板设于所述底部支撑板两侧，所述调节件设于所述底部支撑板上，调节所述侧面支撑板在竖直方向的位置。将单一的刚性零件拆分为多个零件，对于不同型号的功率器件存在相对高度差时，通过调节件调节侧面支撑板在竖直方向的位置，以调节压爪在竖直方向的位置，从而可以对压爪对功率器件的压力大小直接进行调节，无需拆装，降低了工作量；底部支撑板和侧面支撑板之间采用柔性的连接方式，对出现数据错误或电机失步时，弹簧提供缓冲的作用，对机械零件起安全保护作用，防止功率器件变形。

技术领域

本申请涉及半导体加工设备技术领域，更具体的说，特别涉及一种柔性调节机构和夹具。

背景技术

在半导体封装设备、功率器件夹具领域中，需要在焊接工艺的工位上对功率器件进行固定。现有夹具存在的问题：功率器件两侧相对高度固定连接，更换功率器件时，需要对两侧整体进行拆卸后调整再锁紧，工作繁琐且误差较大(调整后高度和锁紧后高度存在误差)，不容易观察；压力调节仅依赖于软件控制，容易出现误操作等现象。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种柔性调节机构和夹具，将单一的刚性零件拆分为多个零件，对于不同型号的功率器件存在相对高度差时，可以对压爪对功率器件的压力大小直接进行调节，无需拆装，降低了工作量。

为了解决以上提出的问题，本实用新型实施例提供了如下所述的技术方案：

一种柔性调节机构，

包括底部支撑板、侧面支撑板和调节件；

所述侧面支撑板为两个并供压爪安装，所述侧面支撑板设于所述底部支撑板两侧，所述调节件设于所述底部支撑板上，调节所述侧面支撑板在竖直方向的位置。

进一步地，所述底部支撑板上设有螺纹孔，所述调节件为设于所述螺纹孔内的螺栓，所述螺栓与所述侧面支撑板连接。

进一步地，所述底部支撑板和侧面支撑板之间设有弹性件。

进一步地，所述弹性件为多组。

进一步地，所述弹性件为弹簧，所述底部支撑板上设有弹簧压板，所述弹簧设于所述弹簧压板与所述侧面支撑板之间。

进一步地，所述侧面支撑板设有通槽，所述弹簧压板与所述通槽的槽底形成弹簧的可压缩及缓冲空间。

进一步地，所述底部支撑板上设有通孔，所述弹簧安装于所述通孔内。

进一步地，所述底部支撑板上设有交叉滚子导轨。

进一步地，所述侧面支撑板上设有直线导轨。

为了解决以上提出的技术问题，本实用新型实施例还提供了一种夹具，采用了如下所述的技术方案：

一种夹具，包括动力源、压爪及如上所述的柔性调节机构，所述压爪设于所述侧面支撑板上，所述动力源驱动所述柔性调节机构在竖直方向移动。

与现有技术相比，本实用新型实施例主要有以下有益效果：

一种柔性调节机构，将单一的刚性零件拆分为多个零件，对于不同型号的功率器件存在相对高度差时，通过调节件调节侧面支撑板在竖直方向的位置，以调节压爪在竖直方向的位置，从而可以对压爪对功率器件的压力大小直接进行调节，无需拆装，降低了工作量；底部支撑板和侧面支撑板之间采用柔性的连接方式，对出现数据错误或电机失步时，弹簧提供缓冲的作用，对机械零件起安全保护作用，防止功率器件变形。

附图说明